판매용 중고 RUDOLPH FE VII D #9097167

RUDOLPH FE VII D
제조사
RUDOLPH
모델
FE VII D
ID: 9097167
웨이퍼 크기: 8"
Film Thickness Measurement System, 8".
RUDOLPH FE VII D는 얇은 필름과 표면의 특성을 위해 설계된 타원계입니다. 광대역 (broadband) 과 단색 (monochromatic) 조명을 모두 사용하여 역반사 광선의 편광 정도를 측정합니다. 그런 다음 얻은 데이터를 사용하여 유전체 상수, 레이어 두께, 광학 이방성 (optical anisotropy) 을 포함한 박막 및 표면을 특성화할 수 있습니다. RUDOLPH FE VIID는 4 개의 동기화 된 CPU를 갖춘 고도로 고급 디지털 신호 프로세서를 특징으로하며, 최대 400nm의 파장까지 최대 16 개의 주파수로 타원법 측정을 동시에 수행할 수 있으며, 높은 정밀도와 반복성을 보장합니다. 통합 소프트웨어 패키지 (software package) 를 통해 사용자는 쉽게 분석 기능을 생성하고 안정적이고 정확한 데이터를 얻을 수 있습니다. 또한 다중 스펙트럼 이미징 (multispectral imaging) 을 지원하므로 사용자가 단일 스캔을 통해 전체 매개 변수 매트릭스를 수집할 수 있습니다. FE-VIID의 강력하고 내구성 있는 디자인에는 알루미늄 프레임, 부식 내성 스테인리스 스틸 플린트, 편광 구성 요소 장착 특수 테이블 등이 있습니다. 컴팩트 한 디자인으로 기존 프로세스와 악기 제품군과의 통합도 용이합니다. 이 통합에는 다양한 인터페이스 (예: WLAN 및 이더넷) 가 포함되어 있어 원격 데이터 수집 및 스토리지를 빠르고 편리하게 사용할 수 있습니다. RUDOLPH FE-VIID는 전용 필름 스트레스 패키지를 포함한 여러 선택적 분석 패키지와 함께 제공됩니다. 이 패키지는 사용자에게 타원법 측정 (ellipsometry measurements), 그래픽 표현 (graphical representations) 및 박막의 응력 매개변수 계산의 고유한 조합을 제공합니다. 또한 스트레스 매개변수 매핑 (stress parameter mapping) 도구가 포함되어 있으며, 이는 대용량 스캐닝 및 특성화에 이상적입니다. 마지막으로, FE VIID 는 소프트 스타트 (soft-start) 시스템을 갖추고 있어 샘플을 측정하는 데 필요한 설정 시간이 상당히 단축됩니다. 또한, 매우 정확한 샘플 포지셔닝 및 조정 시스템을 사용하면 빠르고 편리한 샘플 정렬을 통해 타원법 측정 (ellipsometric measurement) 에 소요되는 시간을 크게 줄일 수 있습니다.
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