판매용 중고 RUDOLPH FE IV #293637499
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ID: 293637499
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Thickness measurement system, 8"
Process capability: 11µm, 13µm, 15µm, 18µm, 25µm, 35µm
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PC Board
Computer
Main body
Power supply: 1500W, 100 VAC, 50 / 60 Hz
1995 vintage.
RUDOLPH FE IV는 박막의 물리적, 화학적 특성을 측정하는 데 사용될 수있는 타원계입니다. 오늘날 시장에서 사용할 수있는 가장 고급적이고 신뢰할 수있는 타원계 중 하나입니다. RUDOLPH FE-IV에는 광원과 간섭계의 두 가지 주요 구성 요소가 있습니다. 광원은 특정 파장에서 빛을 방출하는 레이저입니다. 그런 다음, "레이저 '빛 을 연구 하는" 샘플' 의 표면 으로 향하기 전 에 두 개 의 거울 집합 으로 분리 시킨다. 빛이 서피스와 상호 작용하면 반사되고 그 편광 상태가 기록됩니다. FE IV의 두 번째 구성 요소는 간섭계입니다. 이것이 빛의 편광 상태의 변화를 측정하는 것입니다. FE-IV에는 여러 가지 간섭계 (interferometer type) 가 있으며, 모두 다른 각도와 다른 파장에서 빛의 편광 변화를 측정하도록 설계되었습니다. 그런 다음, 연구 하는 "박막 '의 광학적 특성 과 그 두께 와 물리적 성분 을 계산 하는 데 이러 한 측정 을 사용 할 수 있다. RUDOLPH FE IV에는 과학자들에게 특히 매력적인 여러 가지 특징이 있습니다. 고해상도 (고해상도) 로 정확한 측정에 필요하다. 또한 단일 스캔 (single scan) 에서 다양한 각도와 파장에서 샘플을 측정 할 수 있습니다. 또한, 굴절 지수와 광학 상수를 동시에 측정 할 수있는 기능이 있습니다. 이러한 특성은 RUDOLPH FE-IV를 다양한 연구 프로젝트 및 응용 분야에 이상적인 도구로 만듭니다. 전반적으로, FE IV는 얇은 필름의 물리적, 화학적 특성을 측정하는 데 사용될 수있는 혁신적이고 신뢰할 수있는 타원계입니다. 고해상도 (high resolution), 속도 (speed), 정확도 (accuracy) 의 조합으로 물리, 화학, 재료 과학 및 나노 기술과 같은 분야의 과학 연구에 좋은 선택이되었습니다. 또한, 변동 성과 측정 모드의 범위는 그것이 많은 다른 프로젝트에 사용될 수 있음을 의미합니다.
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