판매용 중고 RUDOLPH FE III #293655511

RUDOLPH FE III
제조사
RUDOLPH
모델
FE III
ID: 293655511
Ellipsometer.
RUDOLPH FE III는 박막 특성 및 흔들림 곡선 분석 작업에 사용하도록 설계된 타원계입니다. 스텝 모터 구동 RUDOLPH FE Nomarski 간섭계가 장착되어 있으며, 다양한 재료에서 매우 얇은 필름을 정확하게 측정 할 수 있습니다. 타원계의 둘레 이동 선형 비 일관성 밝은 필드 조명원은 20-100 ° m 스팟 크기로 4-85 ° 입사각의 측정을 허용합니다. 이러한 측정은 필름의 두께, 광학 이방성 (optical anisotropy) 및 기타 매개변수에 대한 정보를 제공합니다. RUDOLPH FEIII 장비의 구성 요소에는 광 헤드, 터치 스크린 모니터가있는 PC, 샘플 회전 장치, 전원 공급 장치, 원격 진공 시스템 및 샘플 스테이지가 포함됩니다. 광학 헤드는 각도 측정, 이미지 형성, 디스플레이 기능을 제공하며, 다양한 교체 가능한 액세서리를 수용합니다. 광학은 파장 0.6328의 헬륨 네온 레이저 (helium neon laser) 의 단색 광선을 사용하며 빔 스플리터 (beam splitter), 오브젝티브 렌즈 (objective lens), 광검출기 (photodetector) 및 기타 여러 광학 구성 요소를 포함합니다. PC 는 측정 데이터를 저장하고 광 헤드 (optical head) 를 제어할 수 있습니다. 또한 웹 브라우저 인터페이스 (Web Browser Interface) 를 통해 원격 작동이 가능하므로 다른 PC 또는 태블릿에서 현장 애플리케이션과 원격 작업에 적합합니다. 통합 된 제니스 처리 (Zenith Processing) 소프트웨어 (Software) 는 단일 측정에서 라이브 필름 특성을 제공하며, 이 모델에서 예상되는 뛰어난 데이터 품질을 갖춘 고해상도 락킹 커브를 제공합니다. 샘플 회전 단위는 분당 최대 4000 회전 (rotation) 의 샘플을 회전시킬 수 있으며, 이는 높은 스펙트럼 해상도의 흔들림 곡선을 얻기 위해 필요합니다. 원격진공기 (remote vacuum unit) 는 저에너지 샘플 준비에 사용되며 LED 현미경 (LED microscope) 도 장착되어 있어 정렬 기계로 사용할 수 있습니다. FE-III에는 샘플 스테이지 (stepper stage) 를 최대 100m까지 이동시키기 위해 정밀 스테퍼 모터 및 볼 스크루 (ball-screw) 가 장착되어 있습니다. 이를 통해 여러 레이어가 있는 샘플을 정확하게 분석 할 수 있습니다. 또한, 정확한 특성화에 대해 샘플 온도, 압력 및 습도를 제어 할 수 있습니다. 전반적으로, FEIII는 박막 매개 변수를 측정하는 데 적합하고 고급적이고 신뢰할 수있는 타원계입니다. 고급 옵틱, 정밀 샘플 스테이지, 사용이 간편한 소프트웨어는 다양한 샘플 분석 작업에 적합합니다.
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