판매용 중고 RUDOLPH FE 7-D #9142687

RUDOLPH FE 7-D
제조사
RUDOLPH
모델
FE 7-D
ID: 9142687
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 1995
Ellipsometry, 8" 1995 vintage.
RUDOLPH FE 7-D는 RUDOLPH Research Analytical의 최첨단 타원계입니다. 이 다목적 장치는 박막 측정, 광학 필름 특성, 도핑 연구와 관련된 광범위한 분광 측정을 수행 할 수 있습니다. RUDOLPH FE 7D는 프로세스 제어 및 연구 애플리케이션에 가장 까다로운 요구 사항을 충족하는 탁월한 정확도, 정확도, 반복성을 제공합니다. FE-7 D는 굴절률, 두께, 구조 및 화학 조성과 같은 박막 광학 특성을 측정하도록 설계되었습니다. 타원법 (ellipsometry) 기법을 사용하는데, 타원법 (ellipsometry technique) 은 얇은 막을 통해 투과된 후 광선의 편광 상태 변화를 측정하는 것을 기반으로합니다. 이 방법은 동일하지 않은 정확도, 속도 및 민감도를 제공합니다. 광범위한 기능을 통해, 사용자는 빠르고 정확하게 다양한 광 (optical) 측정을 할 수 있습니다. FE 7-D에는 다양한 측정 기능이 포함되어 있습니다. 다각도 샘플 (multi-angle sample) 단계를 사용하면 많은 입사각도에서 높은 정확도로 박막 (thin film) 을 측정할 수 있습니다. FE 7D는 또한 고해상도 CCD 검출기를 특징으로하며, 높은 처리량을 가진 자외선, 가시적, 근적외선 영역에서 분광학적 측정을 가능하게한다. 또한, 이 장치에는 데이터를 분석, 시각화, 보고할 수 있는 고급 소프트웨어가 장착되어 있습니다. 사용이 편리한 이 소프트웨어의 GUI 를 사용하면 쉽게 탐색하고 탐색할 수 있습니다. RUDOLPH FE-7 D에는 다양한 응용 분야가 있습니다. 반도체 및 나노 구조에 사용되는 코팅, 유전체, 금속 등 박막을 특성화하는 데 사용될 수있다. 또한 굴절률, 소멸 계수, 광학 이방성 (optical anisotropy) 과 같은 기질의 광학 상수를 측정하는 데 사용됩니다. 또한, RUDOLPH FE 7-D는 표본의 화학 성분 (예: 도펀트 및 불순물) 과 그 물리적 특성 (예: 균주 및 질감) 을 연구 할 수 있습니다. 전반적으로, RUDOLPH FE 7D는 강력하고, 고도로 발전된 타원계로, 뛰어난 정확도, 정밀도 및 반복성으로 광범위한 분광학적 측정을 수행 할 수 있습니다. 이 다기능 장치는 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스 (graphical interface) 와 여러 측정 기능을 제공하여 프로세스 제어 (process control) 및 리서치 (research) 애플리케이션 모두에 적합합니다.
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