판매용 중고 RUDOLPH AUTO EL #9296295

RUDOLPH AUTO EL
제조사
RUDOLPH
모델
AUTO EL
ID: 9296295
웨이퍼 크기: 6"
Ellipsometer, 6".
루돌프 오토 엘 (RUDOLPH AUTO EL) 은 다양한 표면에서 박막 레이어의 고정밀 측정을 제공하는 최첨단 타원계입니다. RUDOLPH AUTOEL은 유전체, 무기 재료, 전도성 재료 등과 같은 거의 모든 재료의 레이어 두께를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 이 도구는 재료의 광학 특성을 측정하기위한 광학 기술 인 광학 타원법 (optical ellipsometry) 에 의존합니다. 이것 은 "필름 '재료 의 반사 나 투과 시 에 산란 하는 빛 의 특성 을 기초 로 한 것 으로서, 선택한" 레이어' 의 두께 와 광학 "상수 '를 프로파일링 하는 방법 을 제공 한다. 자동 EL (AUTO EL) 은 10도 단위로 45-90도의 조정 가능한 입사각도로 고급 다각도 타원법 측정을 제공합니다. 이를 통해 사용자는 반사 된 강도의 광학 보정 스펙트럼을 수집 할 수 있습니다. 샘플은 단일 저전력 HeNe 레이저 빔에 의해 조명되며, 이는 샘플의 광학적 특성을 변경할 수있는 전기 및 열 가열을 방지합니다. 샘플의 평면 내 회전 (in-plane rotation) 은 임의의 박막 재료의 측정을 향상시키기 때문에, 더 정확한 분석을 위해 여러 각도의 입사률을 고려할 수 있습니다. 각도 교정이 필요 없는 절대 각도 측정 (absolute angle measurement) 옵션도 있습니다. 오토 엘 (AUTOEL) 은 액정 광 변조기를 사용하여 입사각 및 편광을 수정하여 각도 스캔 및 편광이 용이합니다. RUDOLPH AUTO EL에 내장 된 소프트웨어를 사용하면 광선 플럭스, 편광, 입사각, 변조 주파수 등 여러 광역학적 매개변수를 빠르게 조정할 수 있습니다. 입력 빔을 광학 특성 (optical properties) 과 레이어 두께 (layer thickness) 측면에서 해석할 수 있습니다. 이 타원계의 데이터 해석 (data interpretation) 기능에는 물리적 영향을 수정하기위한 여러 가지 고급 알고리즘이 포함되어 있습니다. 루돌프 오토 엘 (RUDOLPH AUTOEL) 은 실험실의 얇은 광학 층을 모니터링하기위한 매우 신뢰할 수 있고 다양한 도구입니다. 이를 통해 사용자는 정확하고 재현이 가능한 데이터로 대규모 박막 (Thin-Film) 측정을 수행할 수 있으며, 더 다양한 매개변수를 조사할 수 있습니다. AUTO EL은 금속 및 유전체 박막 층의 정밀 분석을위한 이상적인 도구이며, 반도체 도량형, 박막 분석, 광학 재료 연구 등 많은 분야에 적용됩니다.
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