판매용 중고 RUDOLPH AUTO EL #9259748

제조사
RUDOLPH
모델
AUTO EL
ID: 9259748
빈티지: 1998
Ellipsometer 1998 vintage.
루돌프 오토 엘 (RUDOLPH AUTO EL) 은 고급 광학 및 분광학 기술을 사용하여 필름 두께, 굴절률, 멸종 계수 및 반사율과 같은 박막의 광학적 특성을 측정하는 타원계입니다. 타원계 (ellipsometer) 는 입사각 및 편광을 사용하여 가장 정확한 샘플의 반사율을 측정합니다. 동봉 된 광학으로 오염을 피하고, 매우 작은 샘플에 대한 측정의 반복성을 보장합니다. 타원계는 가시적 및 NIR 범위 (400 - 1650 nm) 에서 작동하며 빠른 스캔 메커니즘은 빠르고 신뢰할 수있는 측정을 제공합니다. 타원계 (ellipsometer) 는 선명하고 간결한 데이터 디스플레이를 제공하는 대형 LCD 디스플레이를 갖춘 현대 알루미늄 케이싱에 보관되어 있습니다. 또한 USB 포트와 이동식 USB 드라이브를 통해 데이터 저장 및 공유가 간편합니다. 타원계 (ellipsometer) 와 함께 제공되는 소프트웨어는 포괄적이며, 다양한 패라메트릭 디스플레이 옵션과 통계 분석을 위한 데이터 후처리를 허용합니다. 타원계 (Ellipsometer) 에는 자동 샘플 처리 시스템 (Automated Sample Handling System) 이 포함되어 있어 측정 챔버에서 샘플을 쉽게 로드하고 언로드할 수 있으며, 샘플을 광학에 자동으로 정렬할 수 있습니다. 이렇게 하면 올바른 샘플 배치가 보장되고 연산자 오류가 최소화됩니다. 또한 자동 정렬 (Auto Alignment) 기능을 사용하면 데이터를 정확하고 재현할 수 있습니다. 자동 클리닝 사이클 (automated cleaning cycle) 은 측정 전에 표면 준비를 보장하며, 이를 통해 간섭 물질을 제거하고 정밀 정확도를 보장합니다. RUDOLPH AUTOEL은 내장 나노 미터 레벨 위치 제어 덕분에 정확하고 안정적인 측정을 제공합니다. 광학 해상도는 0.1 °, 표준 측정 각도는 0.1 ° ~ 5 ° 로 정확하고 빠르게 측정합니다. 타원계는 필름 두께, 서피스 지형, 스크래치 이미징, 반사율 등 다양한 측정을 제공합니다. 또한, 타원계는 직관적인 사용자 인터페이스를 특징으로하며, 분석 기술은 LCD 디스플레이에 그래픽으로 쉽게 표시됩니다. 강력한 소프트웨어를 사용하면 자동 검색 루틴 (automated scan routine) 및 매개변수 스윕 (parameter sweep) 과 같은 추가 옵션을 추가할 수 있습니다. 유연성을 통해 사용자는 설정을 사용자 정의하고, 다른 방법으로 데이터를 정렬할 수 있습니다. 전반적으로 AUTO EL은 고도의 정밀도 포지셔닝 시스템 (positioning system) 과 자동 샘플 처리 (automated sample handling) 로 인해 탁월한 정확성과 반복성을 제공하는 고도의 타원계입니다. 가시적 (visible) 및 근적외선 (near-infrared) 스펙트럼에서 박막의 광학적 특성을 측정하는 데 적합하며, 정확도는 최대 5nm입니다. 직관적인 LCD 디스플레이와 종합 소프트웨어를 통해 AUTOEL은 필름 두께 (Film Thickness) 특성화 및 프로세스 모니터링의 다양한 어플리케이션에 적합한 선택입니다.
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