판매용 중고 RUDOLPH AUTO EL #9225841

루돌프 오토 엘 (RUDOLPH AUTO EL) 은 반도체 및 광학 재료의 굴절률 및 박막 두께를 뛰어난 정확도와 반복성으로 측정하는 타원계입니다. 타원계는 높은 신뢰성과 정확한 결과를 요구하는 연구 실험실, 대학, 생산 시설을 위해 설계되었습니다. 직관적인 소프트웨어 인터페이스, 고해상도 이미징, 자동 교정을 통해 빠르고 간편하게 작업을 수행할 수 있습니다. 타원계 (ellipsometer) 는 박막의 광학적 특성을 측정하기위한 가변 각도 분광형 타원계이며, 더 까다로운 응용을위한 통합 IR (Integrated IR) 옵션이 있습니다. 모든 각도의 조합으로 s- 극성 스펙트럼과 p- 극성 스펙트럼을 동시에 측정하여 평가 두께와 광학 상수를 제공합니다. 특허받은 가변 각도 가변 흔들림 (wobble) 기술은 각도 불안정성과 흔들림 (wobble) 으로 불완전성을 줄여 다층 구조와 높은 광학 회전을 가진 샘플의 측정을 가능하게 합니다. 타원계는 커스터마이징 가능한 샘플 단계 덕분에 크기 또는 모양의 샘플을 측정 할 수 있으며, 빛 반사 샘플을 깨끗하게 조명하기위한 532 nm 및 633 nm 레이저 소스 (옵션) 를 제공합니다. 피트 페달 작동 샘플 스테이지는 샘플이 원하는 위치에 있을 때만 노출되도록 하며, 5 인치 (5 인치) 터치 스크린은 시스템 제어를 위해 관대하고 대화 형 플랫폼을 제공합니다. 강도 측정, 위상 측정, 다각도 측정, 단점 위상 측정, 두께 측정 등 5 가지 측정 모드로 최대 유연성을 제공합니다. 타원계의 핵심에는 RUDOLPH MUSE 분석 소프트웨어가 있습니다. 스펙트럼, 오버레이 및 포인트 바이 포인트 (point-by-point) 데이터 작업을 결합하여 MUSE는 광범위한 박막 재료에 대한 정확한 결과를 생성합니다. 또한 복잡한 구조를 분석하는 다중 레벨 측정, 2D 또는 3D 매개변수 평면의 샘플 정보를 보는 다중 각도 데이터 검사, 필름 두께의 작은 변화를 신속하게 식별하는 다중 색상 이미징 (multi-color imaging) 이 있습니다. 타원계는 안정성이 높은 데이터를 제공하여 광학 설계 소프트웨어로 전송할 수 있습니다.