판매용 중고 RUDOLPH AUTO EL #9221065

RUDOLPH AUTO EL은 매우 정확하고 재현 가능한 광학 박막 특성을 위해 설계된 자동화된 사용하기 쉬운 타원계입니다. 타원계 (Ellipsometers) 는 얇은 필름 관련 재료를 통과 할 때 단색 빛의 편광 변화를 측정합니다. 루돌프 오토 엘 (RUDOLPH AUTOEL) 은 광학 박막의 빠른 실시간 도량형을 허용하고 전체 웨이퍼에 두께 매핑 기능을 제공합니다. 직관적이고 사용하기 쉬운 인터페이스를 통해 AUTO EL의 3 축 동력 회전 단계를 통해 2 차원 및 3 차원 레이어 매핑에 대한 빠른 측정이 가능합니다. 타원계는 산화물 (oxide), 질화물 (nitride), 저항층 (resist layer) 을 포함한 광범위한 광학 물질을 측정 할 수 있으며, 최대 10m 두께의 층과 최대 200nm 필름을 정확하게 특징 지을 수 있습니다. 또한, 시스템은 샘플을 자동으로 추적하고 측정 헤드의 광학 위치를 조정하여 정확한 반사 (reflection) 또는 투과 모드 (transmission mode) 측정을 위한 자동 광도 이미징 도구를 갖추고 있습니다. 정확성 측면에서 AUTOEL은 최대 4-5% 의 매우 높은 반복성과 반복성을 제공합니다. 또한, 자동 초점 기능은 최적화 된 광학 패키지를 사용하여 각 이미지의 최고 정확도를 보장하며, 이는 하위 nm 해상도의 정확한 깊이 프로파일을 제공합니다. 추가 사용 편의성을 위해 시스템은 전체 자동화 및 동시 측정을 위해 RUDOLPH Autoloader AL100-C (5 슬롯, 자동화, 전동 로드 스테이션) 와 완벽하게 통합됩니다. 따라서 수동 로드 없이 멀티 사이트 측정을 빠르게 시작할 수 있습니다. 전반적으로 RUDOLPH AUTO EL은 정확하고 재생 가능한 광학 박막 특성이 필요한 실험실을위한 훌륭한 선택입니다. 자동화된 로더 (loader) 와 뛰어난 정확성 (excelly accuracy) 을 통해 연구 및 품질 제어를 모두 지원하는 귀중한 도구입니다.