판매용 중고 RUDOLPH AUTO EL #293630394

제조사
RUDOLPH
모델
AUTO EL
ID: 293630394
Ellipsometer.
RUDOLPH AUTO EL은 광학 박막 재료 측정을위한 고정밀 자동 타원계입니다. 반도체 웨이퍼 (wafer) 에서 컴팩트 (compact) 디스크까지 다양한 재료를 특성화하는 데 유용한 도구입니다. RUDOLPH AUTOEL은 정적 및 동적 측정에 모두 사용될 수있는 완전 자동화 측정 장비입니다. 이 제품은 소프트웨어 패키지로 제어되며, 수동 (manual) 및 자동 (automated) 시스템 제어가 가능합니다. 단위의 특징으로는 입사각 감지 기계의 가변 각도, 입사각 2- 빔 타원계, 입사각 각도 반사 타원계, 입사각 가변각 전송 타원계, 스캐닝 각도 타원계. 이 도구는 복잡한 굴절률 (refractive indices) 과 표면 거칠기 (surface roughness) 를 포함한 다양한 박막 재료에 대한 정확한 측정을 얻을 수 있습니다. 오토 엘 (AUTO EL) 은 원하는 측정 파장에 자동으로 조정되고 레이저 소스와 결합되는 흰색 광원 (white-light source) 을 사용하여보다 정확한 측정을 위해 레이저 소스와 결합합니다. 데이터 수집은 '정적 (static)' 모드와 '동적 (dynamic)' 모드 모두에서 수행되므로 다양한 각도를 측정할 수 있으며 속도가 다양합니다. 이 자산에는 수동/자동 제어 및 데이터 처리를 위한 고급 소프트웨어 제품군이 있습니다. 여기에는 수동 (manual) 또는 완전 자동화 (fully automated) 모드에서 측정할 수 있는 자동 명령 세트가 포함됩니다. 이 소프트웨어에는 실시간 플로팅 및 테이블 표시 기능도 포함되어 있습니다. 또한 소프트웨어에는 보정 기능이 내장되어 있습니다. AUTOEL은 박막 측정에 효과적이고, 다재다능하며, 신뢰할 수있는 타원계입니다. 고감도 (high sensitivity) 의 광각 입사율 (incidence field of view) 을 특징으로하며 다양한 박막 재료를 측정 할 수 있습니다. 이 모델은 다양한 연구· 산업용 (R&D) 에 이상적인 옵션으로, 박막에 대한 정확하고 신뢰할 수 있는 측정 결과를 제공합니다.
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