판매용 중고 RUDOLPH AUTO EL #293615479
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ID: 293615479
빈티지: 1996
Ellipsometer
Stage: #407
Inked on label: SS2, S52
No eyepiece ring present
Power: 110V, 325W
Motorized stage
1996 vintage.
루돌프 오토 엘 (RUDOLPH AUTO EL) 은 박막 두께와 광학 상수의 단순하고 정확한 특성을 제공하기 위해 개발 된 최첨단 표면 과학 타원계입니다. 직관적인 사용자 병렬 제어 소프트웨어를 사용하면 빠르고 정확한 측정이 가능합니다. 이 시스템은 고도로 자동화되어 있으며, 독특한 저고도 일광 광학 헤드 (optical head) 와 정밀한 각도 포지셔닝을위한 전동 액츄에이터 (actuator) 를 포함합니다. 루돌프 오토 엘 (RUDOLPH AUTOEL) 은 필름에서 반사되는 빛의 편광을 조사하여 박막의 두께 및 광학 상수를 측정하고 계산합니다. 얇은 막은 샘플 스테이지에 장착되며, 편광 광원으로 조명됩니다. "탐지기 '는 반사 된 빛 과" 필름' 에 의한 편광 의 변화 를 측정 한다. 그런 다음 AUTO EL 소프트웨어는 편광의 변화로부터 필름 광학 상수를 계산합니다. 이 타원계는 박막 두께 (Thin Film Thickness) 와 광학 상수 (Optical Constants) 결정 과정을 단순화하도록 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 박막을 25 옹스트롬만큼 얇게 측정하는 데 사용할 수 있으며, 최대 변형은 0.25% 입니다. AUTOEL (AUTOEL) 에는 다른 온도에서 필름을 측정 할 수있는 온도 조절 샘플 단계가 포함되어 있습니다. 또한, 고급 전동 광학 및 자동 샘플 포지셔닝은 모든 샘플의 빠르고 정확한 방사형 정렬을 제공합니다. 루돌프 오토 엘 (RUDOLPH AUTO EL) 에는 기판 기판에 대한 필름 두께 결과의 그래픽 표현 및 다중 레이어 박막 모델 (multi-layer thin film model) 을 포함하여 고급 소프트웨어 기능이 포함되어 있습니다. 이 시스템은 매우 정확하고 정확하며, 박막 (Thin Film) 개발, 광학 특성, 품질 제어 등 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 또한 옵션 통합 분광 타원법 (SE) 모듈로 설계되었으며, FDTD 기술을 통합하여 박막 재료의 복잡한 굴절 및 멸종 계수를 측정합니다. 이 고급 SE 모듈을 사용하면 샘플에 걸쳐 분광 타원체 매개변수를 매핑할 수 있습니다. 전반적으로, RUDOLPH AUTOEL은 정확하고 정확한 박막 두께와 광학 상수 결정을 제공하는 고도로 고급적이고 정교한 표면 과학 타원계 시스템입니다. 박막 특성, 광학 특성, 품질 제어에 이상적인 솔루션입니다.
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