판매용 중고 RUDOLPH AUTO EL (NIR-3) #9122499

RUDOLPH AUTO EL (NIR-3) 은 RUDOLPH Research Analytical에서 제조 한 자동 타원계입니다. 박막 재료의 두께, 구성, 광학 상수 및 관련 매개변수를 측정하기위한 비 접촉 광학 기기입니다. 실시간 분광학, 이미징 (imaging), 데이터 분석 (data analysis) 을 결합하여 다양한 응용 분야에서 다양한 유형의 박막 표면을 측정합니다. RUDOLPH AUTO EL은 통합 된 Near-Infrared (NIR) 소스로 구동되며, 700 ~ 2300nm 사이의 파장 범위의 빛으로 박막 샘플을 선택적으로 조사합니다. 그런 다음이 빛은 샘플 표면에서 반사되어 통합 NIR 분광계에 의해 수집됩니다. 분광학적 측정을 통해, 이러한 광학 신호는 굴절률, 소멸 계수, 레이어 두께 및 기타 박막 재료의 매개 변수에 대한 자세한 정보를 제공합니다. 이 기기에는 표면의 고해상도 이미지를 기록하기 위해 여러 대의 카메라가 장착되어 있습니다. 통합 이미징 시스템은 최첨단 자동 초점 및 확대 (magnification) 모터 시스템에 의해 제어되며, 정확한 측정을 위해 광학 부품을 정확하게 정렬 할 수 있습니다. RUDOLPH AUTO EL은 샘플 로딩 및 준비 단계 (sample loading and preparation stage) 와 분석 단계 (analysis stage) 의 두 단계로 구성된 완전 자동화 단위입니다. 샘플 준비는 쉽고 효율적입니다. 내장형 로더는 옵션 회전 플랫폼을 통해 최대 1 "높이의 웨이퍼를 포함한 대부분의 기판을 자동으로 처리합니다. 샘플을 분석하기 위해 RUDOLPH AUTO EL에는 샘플의 n 및 k 값과 레이어 두께 프로파일을 빠르고 정확하게 측정 할 수있는 알고리즘이 포함되어 있습니다. 또한 멸종 계수, 필름 두께, 측면 광택, 굴절률, 상태의 부분 광자 밀도 및 소멸비를 포함한 다른 광학 상수의 범위를 측정 할 수 있습니다. 이 장비는 정확성과 견고성을 위해 공장 보정되었으며 SEMI 및 ASTM 표준을 준수합니다. 또한 RUDOLPH AUTO EL은 타사 컨트롤러와 함께 사용할 수 있으므로 기기의 고급 자동화 및 제어가 가능합니다. 전반적으로 RUDOLPH AUTO EL (NIR-3) 은 연구원과 기술자에게 박막 재료의 특성을 측정하기위한 신뢰성 있고 자동화 된 솔루션을 제공합니다. 사용이 간편한 설계 및 통합 도구를 통해 복잡한 박막 샘플을 효율적이고 정확하게 측정할 수 있습니다.