판매용 중고 RUDOLPH AUTO EL III #9176271
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루돌프 오토 엘 III (RUDOLPH AUTO EL III) 는 투명하고 얇은 필름의 정확한 두께 및 광학 특성 측정을 제공하도록 설계된 고급 기능의 자동 타원계 장비입니다. 이 자동 타원계 시스템 (Automated Ellipsometer System) 은 하나의 빠른 비접촉 측정에서 샘플의 필름 두께 및 광학 특성을 결정하는 고해상도 격자 장치를 갖추고 있습니다. 이 타원계에는 직관적 인 사용자 인터페이스 (user interface) 도 있어 연산자가 계기를 효율적으로 작동시킬 수 있습니다. RUDOLPH AUTOEL III에는 사용자가 측정 매개변수 (parameters), 로드 샘플 데이터 (load sample data) 및 분석 측정 데이터를 설정 및 사용자 정의할 수 있도록 내장 소프트웨어 제어 시스템이 있습니다. 내장형 소프트웨어는 메뉴 액세스가 가능한 선명하고 터치에 민감한 LCD 디스플레이에 측정된 데이터를 표시하고, 측정하는 동안 획득한 모든 데이터를 저장할 수 있습니다 (영문). 제어 도구 (Control Tool) 는 타원계의 자동 교정 절차를 생성하여 측정의 정확성과 반복성을 유지할 수도 있습니다. 자동 EL III (AUTO EL III) 에는 측정이 진행되는 동안 샘플의 정확한 이동이 가능한 내장 단계가 있습니다. 이 단계 의 속도 는 조정 가능 하여, 측정 시간 을 신속 히 유지 하면서 "오퍼레이터 '가 정확도 를 최대화 할 수 있다. 샘플 홀더 (sample holder) 는 샘플을 잡고 측정 중에 올바른 방향으로 배치할 수도 있습니다. AUTOEL III는 필름 샘플의 실제 두께 및 광학 상수 (예: 굴절률, 소멸 계수, 임계 입사각) 를 측정 할 수 있습니다. 또한 측정 해상도가 0.1 nm로 매우 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 이 자산은 또한 반복성 (repeatability) 과 안정성 (stability) 을 위해 설계되어 측정값은 신뢰할 수 있고 결과는 일관됩니다. 루돌프 오토 엘 III (RUDOLPH AUTO EL III) 는 필름의 광학 및 물리적 특성을 정확하게 측정하는 다재다능하고 신뢰할 수있는 모델입니다. 직관적인 사용자 인터페이스, 고해상도 등급 (high-resolution grating) 장비 및 자동 교정 절차를 통해 RUDOLPH AUTOEL III는 광범위한 박막 측정 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.
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