판매용 중고 RUDOLPH AUTO EL III #293639189

ID: 293639189
웨이퍼 크기: 6"
Ellipsometer, 6" 1995-1996 vintage.
RUDOLPH AUTO EL III는 다양한 산업 응용 분야에 사용하도록 설계된 자동화된 정밀 타원계입니다. 타원법 (Ellipsometry) 은 표면에서 반사되는 빛의 편광된 강도에 대한 연구로, 표면의 광학적 특성을 측정 한 것입니다. RUDOLPH AUTOEL III 타원계는 온웨이퍼 구조, 투명 불투명 박막 구조 및 기타 관련 샘플의 필름 두께 및 광학 상수를 측정합니다. AUTO EL III에는 자동화 시퀀싱을 위해 설계된 사용자에게 친숙한 AMS (Automated Measurement System) 가 장착되어 있어 여러 샘플을 동시에 측정 할 수 있습니다. 최대 50 개의 다른 상태 (state) 또는 매개변수 (parameter) 조합을 저장할 수 있으므로 연산자가 다른 측정 상태 사이에서 빠르고 쉽게 전환 할 수 있습니다. AUTOEL III에는 샘플 버킷 (Sample Bucket) 시스템이 포함되어 있으며, 한 번에 최대 10 개의 샘플을 수용 할 수 있으며 샘플 체인저 메커니즘이 있어 샘플 버킷에서 분석 슬롯으로 샘플을 이동할 수 있습니다. 이를 통해 보다 빠르고 효율적인 샘플 분석이 가능합니다. RUDOLPH AUTO EL III에는 수동 정렬 시스템에 장착 된 정밀 연구 등급 광원 및 검출기가 있습니다. 이를 통해 연산자는 광도, 검출기 감도 및 샘플-검출기 거리를 쉽게 조정할 수 있습니다. RUDOLPH AUTOEL III에는 다양한 사전 설정 매개 변수 (pre-set parameters) 도 포함되어 있으며, 버튼을 누르면 다른 측정이 가능합니다. 또한 사용자 정의 응용 프로그램에 대해 측정을 프로그래밍 할 수 있습니다. AUTO EL III 타원계는 샘플 재료 (유전체), 필름 두께, 광학 이방성, 굴절 지수, 소멸 계수 및 표면 거칠기의 광학 상수를 측정 할 수 있습니다. 또한 서피스-릴리프 분석 (surface-relief analysis) 과 같은 고급 응용 프로그램에 사용될 수 있으며 플라즈몬 파면 (plasmonic waveguides) 과 같은 복잡한 구조를 특성화하는 데 사용될 수 있습니다. AUTOEL III (AUTOEL III) 는 견고하고 신뢰할 수 있는 장비로, 짧은 시간 안에 정확한 데이터와 측정을 제공합니다. 반도체· 광학· 광학· 광학 부품분석· 광전자기기특성화· 품질제어 등 다양한 산업 분야에 이상적이다. RUDOLPH AUTO EL III는 고정밀도, 고속 측정을 제공하여 처리량을 높이고 생산성을 높입니다.
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