판매용 중고 RUDOLPH AUTO EL III #293604275

ID: 293604275
Ellipsometer.
RUDOLPH AUTO EL III는 RUDOLPH Research Analytical의 고성능 완전 자동화 타원계입니다. 이 타원계는 다양한 기질에서 박막의 두께와 굴절률을 모두 측정합니다. 플라스틱, 광학, 반도체, 얇은 금속 필름 등 다양한 재료에 적합합니다. 전동식 로터리 스테이지로, 이 기기는 정확한 결과를 위해 정확한 각도 측정을 허용합니다. 루돌프 오토 엘 III (RUDOLPH AUTOEL III) 는 레이저 간섭계 (Laser interferometry system) 를 사용하여 수동 정렬이 필요 없으며 자동 작동이 가능하므로 샘플 측정에서 운영자 오류가 발생하지 않습니다. 이 장치는 반사율 (reflectance) 에서 몇 나노 미터의 필름 두께 (film thicknesses) 에 이르기까지 다양한 응용 프로그램을 가능하게하기 위해 4 개의 파장 중에서 선택할 수 있습니다. 레이저는 미리 정해진 파장, 자외선 (UV), 가시적 (visible) 및 근적외선 (near-infrared) 스펙트럼 (spectra) 에서 1mm 지점에 집중되어 가시성 스펙트럼 이상의 광범위한 측정이 가능합니다. 샘플을 측정하기 위해, 자동 EL III (AUTO EL III) 는 정확한 반사율 곡선을 생성하기 위해 많은 각도 위에 입사 및 반사광의 정확한 정렬을 설정합니다. 이렇게 하면 박막의 굴절률과 두께를 정확하게 측정할 수 있습니다. 그런 다음, 측정 된 커브 (curves) 를 재료의 광학적 특성에 따라 빛 반사를 설명하는 컴퓨터 모델과 비교합니다. 이 비교는 재료의 굴절률과 두께를 산출합니다. 이 소프트웨어를 사용하면 반복 테스트 (repeatability test) 를 수행할 수 있으며, 측정 정확도를 확인하고 특정 샘플에 대한 반사계 형상을 최적화할 수 있습니다. AUTOEL III는 오늘날 시장에서 가장 정확하고 정확한 타원계 중 하나입니다. 반도체 기판에서 연구· 산업용 소재 (materials for research and industrial application) 에 이르기까지 다양한 샘플에서 박막을 측정하는 데 이상적인 도구다. 고성능 레이저, 자동 회전 단계 (automated rotary stage), 정확한 반사율 데이터는 박막 측정에서 정확한 결과를 얻는 데 적합합니다.
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