판매용 중고 RUDOLPH Auto EL III-2 #9124204
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ID: 9124204
Ellipsometer
633 HeNe laser source
4A option
X/Y stage with slide tray wavelengths of 405nm <1A or 1%
(whichever is greater)
Repeatability.
RUDOLPH Auto EL III-2는 최첨단 타원계로, 정밀 측정 기능을 위해 설계되었으며, 전반적인 생산성과 신뢰성을 향상시킵니다. 타원계 (Ellipsometer) 는 표면에서 반사되는 빛의 반사도 및/또는 편광을 측정하는 광학 기기의 한 유형입니다. Auto EL III-2 타원계에는 4 개의 정밀 거울 및 회전 편광기, 고도로 유능한 분광기, 회전 각도 인코더, 고급 광원 및 특수 컨트롤러를 포함한 많은 복잡한 구성 요소가 포함됩니다. 이 기기는 250 ~ 1700 nm의 넓은 스펙트럼 범위를 가지고 있습니다. 광원은 샘플 스테이지 (sample stage) 없이 입사각 및 편광 측정을 모두 허용합니다. RUDOLPH Auto EL III-2는 독립형 기기로, 데이터를 자동으로 취할 수 있습니다. 또한 제품 라인 (production line) 에 통합하여 측정 및 제어 피드백 (feedback) 을 수행할 수 있습니다. 첫 번째 거울은 조정 가능한 "돔" 에 장착되어 회전하여 이동합니다. 이 진동 감쇠 장착 기술은 최고 품질의 측정을 가능하게합니다. 두 편광기는 일제히 회전합니다. 하나는 미크론 정밀도 (micron-precision) 가있는 강력한 스핀들 (spindle) 에 장착되고 다른 하나는 매우 정밀한 베어링에 장착됩니다. 또한 2 개의 슬릿은 일제히 회전하며, 3 개의 요소는 모두 내부 전원 컨트롤러와 소프트웨어에 의해 제어됩니다. 3 개의 회전 각도 (sigma, psi 및 delta) 는 전용 및 절대 인코더로 정확하게 측정 된 다음 데이터 획득 소프트웨어로 전달됩니다. 수신 된 빛은 두 개의 고급 광학 분광계에 의해 확립됩니다. 광학 CCD 또는 광학 탐지기 배열과 직접 연결할 수있는 일련의 최상급 10 미크론 슬릿 (micron slit). 분광계 (spectrometers) 는 넓은 스펙트럼 범위를 가지며, 하나의 단일 작업에서 절대 복사 강도 측정 및 입사각 측정을 모두 위해 설계되었습니다. 입사 광학 시스템의 데이터 획득은 Auto EL III-2 타원계가 작동 모드일 때 처리됩니다. 이 소프트웨어는 시스템의 작동 모드 (operation mode) 에서 모든 컴포넌트를 제어하고 품질 보증 (quality assurance) 검사를 수행하도록 설계되었으며, 모든 결과를 추적 가능한 방식으로 기록합니다. 또한 소프트웨어를 사용자 정의하여 기존 운영 라인에 통합할 수 있습니다. 전체적으로 RUDOLPH Auto EL III-2 타원계는 매우 정확한 기구로, 가장 복잡한 측정을 위해 설계되었습니다. 최첨단 기능과 신뢰할 수 있는 구성 요소는 최고 수준의 정확성과 반복 (repeatability) 기능을 통해 고품질의 결과를 얻을 수 있습니다. 포함된 소프트웨어 및 데이터 획득 프로토콜, 운영 라인과 통합하는 기능, 자동 EL III-2 (Auto EL III-2) 는 정확성이 필요한 모든 실험실 또는 엔지니어링 작업에 이상적인 선택입니다.
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