판매용 중고 RUDOLPH AUTO EL II #293630320

RUDOLPH AUTO EL II는 증착율뿐만 아니라 두께, 광학 이방성, 굴절률, 소멸 계수와 같은 박막 특성을 측정하도록 설계된 고정밀 디지털 타원계입니다. 반도체 재료, 광학 코팅 (optical coating) 및 박막 스택의 연구 및 개발에 일반적으로 사용되는 비파괴적, 무접촉 표면 분석 기술입니다. AUTO EL II는 컴퓨터 제어 광학 모듈, 샘플 조작 단계, 단색 장치, 소프트웨어 제어 기계식 암 및 분광계를 포함하는 자체 포함 시스템입니다. 가볍고 컴팩트 한 광학 모듈을 통해 RUDOLPH AUTO EL II는 2 nm 두께까지 울트라 틴 필름 구조를 감지 할 수 있습니다. 샘플 조작 단계는 대용량 (300mm) 기판 (300mm) 을 포함하여 다양한 크기의 샘플을 자동으로 스캔할 수 있으며, 여러 샘플 영역을 측정할 수 있습니다. 단색 장치 (Monochromator) 에는 단색 필터가 장착되어 190nm에서 1000nm까지의 파장에서 측정 할 수 있습니다. 소프트웨어 제어 기계식 암 (mechanical arm) 은 샘플에 대한 광학 모듈의 올바른 위치를 보장하는 반면, 분광계는 표면에서 반사된 에너지를 측정하는 데 사용됩니다. AUTO EL II는 사용하기 쉽고, 직관적인 소프트웨어 제어 사용자 인터페이스는 샘플 측정을 능률화하는 데 도움이됩니다. 파장, 방향 등의 매개변수는 각 샘플에 대해 프로그래밍 및 미세 조정이 가능합니다. 또한, 사용자는 테스트 결과를 저장하고, 분석 매개변수를 조정하고, 사용자 정의 측정 시퀀스를 만들고, 자동화된 스크립팅 언어를 사용하여 실험을 제어할 수 있습니다. RUDOLPH AUTO EL II는 박막 분석을위한 강력하고 다양한 도구입니다. 고정밀 광학, 소프트웨어 제어 작동, 얇은 레이어 측정 기능 (두께 2nm 이하) 을 갖춘 이 고급 타원계는 박막 (thin-film) 과 반도체 (semiconductor) 분야에서 일하는 연구자와 엔지니어에게 이상적인 선택입니다.