판매용 중고 RUDOLPH AUTO EL II #293618566

ID: 293618566
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1983
Ellipsometer, 6" 1983 vintage.
RUDOLPH AUTO EL II는 박막 특성을 위해 RUDOLPH Research Analytical에서 제작 한 광학 타원계입니다. 이것 은 "박막 '" 샘플' 을 편광 광선 으로 비추고 반사 광선 이나 투과 광선 의 편광 을 측정 함 으로써 작용 한다. 자동 EL II (AUTO EL II) 는 편광 변조 (polarization modulation) 를 사용하여 샘플 광학 응답의 진폭과 위상을 동시에 측정하여 박막 광학 특성을 전체적으로 설명 할 수 있습니다. 이 장치는 빠르고 사용자 친화적으로 설계되었으며, 다양한 기능을 통해 작동의 정확성과 유연성을 극대화할 수 있습니다 (영문). RUDOLPH AUTO EL II는 0.5 밀리와트 HeNe 레이저를 사용하여 연구중인 샘플에 반사 또는 투과되는 빛의 빔을 제공합니다. 두 개의 은하계 거울을 포함하는 빔 스캔 시스템 (beam scanning system) 은 음향-광학 변조기 (Acoustic-Optical modulator) 를 통해 빔을 이동 한 다음 샘플로 향하고, 반사되거나 투과된 빛은 적외선 탐지기를 통해 측정됩니다. 변조 체계는 들어오는 빛과 나가는 빛의 편광 상태를 측정하는 데 사용되는 PC 제어 4 상태 편광 변조입니다. TheAuto EL II는 정확성과 효율성을 최적화하는 다양한 기능을 갖추고 있습니다. 633nm ~ 700nm의 작동 파장 범위를 제공하는 고해상도 스테퍼 모터 드라이브, s 및 p 폴라로이드를 동시에 측정 한 고 동적 범위 검출기, 조이스틱 (joystick) 을 사용한 수동 동작뿐만 아니라 동력 XY 동작을 제어 할 수있는 샘플 단계, 다양한 샘플 뷰 필드를 연구할 수 있습니다. AUTO EL II는 RUDOLPH Films Pack, Bulk Solutions Pack 및 Substrate Solutions Pack과 같은 강력한 소프트웨어 도구를 제공하여 몇 가지 간단한 단계로 얻은 샘플 결과를 쉽게 분석 및 보고 할 수 있습니다. 또한, 포함 된 POL-EL 소프트웨어 제품군은 누설 모드 분석 및 필름 모드 분석과 같은 추가 분석 도구를 제공하여 조사관이 데이터에 대한 추가 분석을 수행 할 수 있습니다. 전반적으로, RUDOLPH AUTO EL II는 사용자가 박막 샘플을 빠르고 정확하게 특성화 할 수 있도록 설계된 효과적이고 강력한 광학 타원계입니다. 고급 소프트웨어 툴과 스테이지 모터라이제이션 (motorization) 과 함께 광 스캐닝 (optical scanning) 과 변조 (modulation) 의 조합으로, 박막 샘플의 정확한 측정 및 해석을 제공 할 수 있습니다.
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