판매용 중고 RUDOLPH AUTO EL II #293609047

RUDOLPH AUTO EL II
ID: 293609047
Ellipsometer.
RUDOLPH AUTO EL II는 루돌프 테크놀로지스 (RUDOLPH Technologies, Inc.) 의 자동 타원계로 박막 두께, 광학 상수 및 필름 스트레스를 측정 할 수 있습니다. 이 장비는 PLE (polarized light ellipsometry) 의 원칙을 기반으로합니다. 반도체, 금속, 유리, 폴리머와 같은 다양한 범위의 기질에서 10 ~ 1000 nm 범위의 두께로 매우 얇은 필름을 측정 할 수있는 비파괴 광학 기술입니다. AUTO EL II는 편광 광원과 회전 편광기 (rotating polarizer) 를 사용하여 처음에 선형 편광되는 광선을 생성합니다. 그런 다음, 빛이 샘플 서피스에서 반사되거나 투과되어 검출기에 의해 검출됩니다. 검출기는 샘플 서피스를 반사하거나 통과한 후 광선 (light beam) 의 편광 상태와 강도를 측정합니다. 반사 된 빔의 강도 및 편광 상태는 입사 빔의 강도 및 편광 상태와 비교되며, 타원 소메트릭 파라미터 (ellipsometric parameters) (타원 소수점 자세 매개변수) 와 유도된다. 표면에 박막 (thin film) 의 존재는 입사광에 비해 반사광의 강도 및 편광 상태에 영향을 미친다. 그런 다음 이 정보를 사용하여 샘플의 굴절률, 두께, 광학 상수를 계산할 수 있습니다. 다른 타원법 장비보다 RUDOLPH AUTO EL II의 장점에는 더 높은 주파수 LED 광원, 자동 폴라리미터 (polarimeter) 로 인한 더 빠른 측정 시간, 쉬운 작동을위한 혁신적인 사용자 인터페이스 등이 있습니다. 타원계는 RUDOLPH Windows 기반 대화식 소프트웨어와 호환되며, 이를 통해 데이터 로깅, 플로팅, 내보내기 및 저장이 가능합니다. 이 장비는 반도체, 광전자, 나노 기술, 생명 과학, 광학 도량형 및 연구 실험실과 같은 많은 산업에서 산업, 학술 및 연구 목적으로 널리 사용됩니다. 또한 박막, 코팅, 광학 요소의 제작 및 제조에도 사용되었습니다. 전반적으로 AUTO EL II는 다양한 응용 프로그램에서 안정적이고 정확한 광학 재료 특성을 제공하는 고급 타원계입니다. 높은 정밀도 성능을 활용하고 측정 속도와 정확도를 최대화합니다. 요컨대, 박막 특성화를위한 이동 솔루션입니다.
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