판매용 중고 RUDOLPH / AUGUST S300 #9355323

RUDOLPH / AUGUST S300
ID: 9355323
웨이퍼 크기: 12"
Macro defect inspection system, 12".
RUDOLPH/AUGUST S300 Ellipsometer는 박막 두께, 필름 색인, 소멸 계수, 거칠기, admittance 및 흡수 계수와 같은 샘플 광학 속성의 여러 매개 변수를 측정하도록 특별히 설계된 자동 통합 장비입니다. AUGUST S300 시스템은 매우 정확하고 사용하기 쉬운 소형 원피스 악기입니다. 샘플은 표본 홀더에 배치되고 가변 파장 HeNe 레이저의 입사광으로 조명됩니다. 그런 다음, "레이저 '빛 은 각도 의 발병 각도 로" 필름' 표본 을 향하게 된다. 그런 다음 PMT (Photo-Multiplier Tube) 검출기를 사용하여 빛의 강도 및 각도 정보를 측정하고 저장하는 RUDOLPH S300 장치에 의해 반사 된 빛을 감지하고 분석합니다. 그런 다음, 기계가 수집한 데이터를 사용하여 샘플의 광학 매개변수를 결정합니다. S300 도구는 이중 축 형상을 가지며 각도 참조에 고유한 전단 메커니즘을 사용하므로 정밀 회전 (rotation) 및 입사각 (incident angles) 값을 사용할 수 있습니다. 이 기기는 또한 측정 된 광학 매개변수 (optical parameters) 의 동적 범위를 가지고 있으며 투명, 불투명, 반사, 산란 등 다양한 샘플 유형에 대한 측정을 수행 할 수 있습니다. 또한 RUDOLPH/AUGUST S300에는 수집 된 데이터의 원격 운영 및 분석을위한 웹 기반 인터페이스가 있습니다. 이 인터페이스는 확장 제어 (extended control) 기능을 제공하며 사용자가 측정을 획득하고 저장할 수 있도록 합니다. 또한, AUGUST S300은 샘플의 광학 특성을 시각화하는 데 도움이 되는 특정 매개변수의 애니메이션 이미지 (animated image of specific parameters) 를 수집하거나 생성한 데이터에 대한 보고서를 생성할 수도 있습니다. RUDOLPH S300 Ellipsometer 자산은 박막 두께 측정 및 광학 매개변수 특성화에 이상적인 솔루션입니다. 고도로 정확한 측정, 다양한 샘플 유형 (Sample Type) 및 우수한 보고 기능을 통해 샘플의 광학 특성을 정확하게 분석해야 하는 모든 사용자에게 S300 모델이 필수입니다.
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