판매용 중고 J.A. WOOLLAM AccuMap SE UI-1500 #9301004
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J.A. WOOLLAM AccuMap SE UI-1500 Ellipsometer는 박막 및 표면의 광학 특성을 측정하기 위해 설계된 고정밀 분광계입니다. 이 완전 자동화 된 기기는 최대 200mm 크기의 샘플을위한 프로그래밍 가능한 샘플 포지셔너와 고해상도 타원계를 결합합니다. 필름 두께, 광학 상수 (굴절 및 흡수 계수 지수) 및 광범위한 재료의 표면 거칠기의 정확하고 신뢰할 수있는 측정을 생성합니다. UI-1500은 UV (Ultra-Violet) 에서 NIR (Near-Infrared) 범위까지 다양한 파장을 갖춘 매우 민감한 분광 탐지 장비를 갖추고 있습니다. 시스템은 정확하고 신뢰할 수있는 결과를 위해 0 ° ~ 85 ° 범위의 입사각 (AOI) 을 측정 할 수 있습니다. 이 기기는 또한 자동화 된 웨이퍼 정렬 장치 (Wafer Alignment Unit) 와 샘플 로드 (Sample Positioning Machine) 를 갖추고 있습니다. UI-1500의 정밀 광학은 탁월한 정확성을 위해 우수한 신호 대 소음 비율을 제공합니다. 이 기기는 또한 정확하고 적시에 데이터 분석을 위해 높은 데이터 획득 및 처리 도구 (Processing Tool) 를 갖추고 있습니다. 에셋은 회전 (rotating) 구성과 비회전 (non-rotating) 구성 모두에서 사용하도록 구성될 수 있으며 필름 배치 (Film deposition) (두께, 광학 상수 등) 와 같은 다양한 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. 표면 특성 (거칠기, 광학 상수) 접착 테스트 나노 구조의 광학 매개변수 박막 응력 분석. UI-1500 은 다양한 애플리케이션의 요구 사항을 충족하기 위해 다양한 소프트웨어/하드웨어 옵션을 제공합니다 (영문). 자동 웨이퍼 로딩 (Wafer Loading) 및 웨이퍼 매핑 (Wafer Mapping) 을 지원하여 빠르고 효율적인 샘플 분석, 실시간 데이터 획득 및 데이터 분석을 통해 신속한 결과를 얻을 수 있습니다. UI-1500 은 또한 사용이 간편한 GUI 를 통해 해상도 및 노출 시간을 구성할 수 있습니다. UI-1500은 얇은 필름과 표면을 특성화하기위한 완벽한 도구입니다. 정밀 광학, 자동 설정 기능, 사용자 친화적 인 설계로, 이 분광 타원계는 다양한 재료의 필름 두께, 광학 상수, 표면 거칠기 (surface roughness) 를 측정하는 정확하고 안정적인 방법을 찾는 연구 개발 실험실에 이상적인 선택입니다.
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