판매용 중고 GAERTNER L2W26D.488 #9224475
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ID: 9224475
with Uniphase laser power supply
2114-10SL Melles Griot
Dayton 2C915A shaded pole blower.
GAERTNER L2W26D.488은 박막 측정 및 특성화를 위해 설계된 흰색 조명 스캔 Ellipsometer 장비입니다. 이 시스템은 1 ~ 3 개의 파장 채널과 함께 빔 편광 (beam polarization) 을 조정하여 필요한 측정을 정확하게 얻을 수 있습니다. L2W26D.488은 +/-35 ° 의 방위 스캐닝 범위로 0 ° 와 360 ° 사이에서 측정 할 수 있으며, 이는 연구 및 생산 응용 프로그램에서 뛰어난 유연성을 제공합니다. 이 타원계 (Ellipsometer) 는 빛의 빔을 직각으로 두 개의 선형 편광 성분으로 나누는 광학 요소 인 울라스 톤 프리즘 (Wollaston Prism) 장치를 사용하여 작동합니다. L2W26D는 트랙 마운트 프리즘 머신 (track-mounted prism machine) 을 사용하며, 회전 가능한 편광기와 함께 s- 편광 또는 p- 편극으로 조정 할 수 있습니다. 편광 된 빔은 샘플 (sample) 로 향하여 90 ° 간격으로 위상 이동을 겪는다. 그러면 공구는 위상 이동 각도 (phase shift angles) 의 비율을 결정하여 최소값과 최대값 (maximum value) 을 선택하고, 마지막으로 비율 측정값을 계산합니다. GAERTNER L2W26D.488은 6 arcsecond의 반복 가능성으로 고해상도 측정을 제공합니다. 이 정확도는 원자 광학 단색기 (optics monochromator) 를 사용하여 더욱 향상되어 지속적인 스펙트럼 제어를 제공하고 필터를 수동으로 전환할 필요가 없습니다. 이 자산에는 Helium Neon (HE-NE) 및 다이오드 레이저 옵션도 포함되어 있으며, 다양한 광원 파장 중에서 선택할 수 있습니다. Ellipsometer에는 데이터를 분석하고, 보고서를 만들고, 결과를 저장할 수 있는 통합 SOPHIST S2 소프트웨어가 있습니다. 또한 자동 필름 이미징 및 두께 계산 기능을 제공합니다. 따라서 Wafer 맵을 빠르게 시각화하고 최대 32 Wafer 사이트에 대한 두께 데이터를 동시에 제공할 수 있습니다. L2W26D.488은 생산 환경에서 연구 실험실까지 다양한 응용 분야에 적합합니다. 조절 가능한 편광, 가변 스캐닝 각도, 광원 및 통합 소프트웨어를 포함한 광범위한 기능을 통해 GAERTNER L2W26D.488은 모든 종류의 박막 측정 및 특성 (characleization) 작업에 적합한 선택이 됩니다.
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