판매용 중고 GAERTNER L115A #38060
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ID: 38060
빈티지: 1984
WAFERSKAN Ellipsometer
Includes scanning stage driver unit and computer HP 9825A (on cassettes)
Configuration and documentation
Currently deinstalled
1984 vintage.
GAERTNER L115A는 최대 1nm의 울트라 틴 필름을 측정하는 고급 자동 타원계입니다. 이 장비는 잘 정립 된 타원법 (ellipsometry) 의 원리를 활용하여 자동 샘플 단계를 통해 정밀하고 정확한 측정을 수행합니다. 타원계 (Ellipsometer) 는 다양한 입사각으로 UV에서 근적외선 영역으로의 샘플의 광학 반응을 측정 할 수있다. L115A는 특유의 업계 최고의 광학 편광과 샘플 회전 시스템 (Sample Rotation System) 과 함께 집중형 레이저 빔을 활용하여 빠른 측정, 고성능, 신뢰성을 제공합니다. 이 자동 장치에는 빠른 전자 스위칭이 적용된 최신 초고속, 레이저 기반 광학 헤드, 1 ~ 4 개의 기본 광학 파라미터가 포함되어 있습니다. 또한 가에 트너 (Gaërtner) 의 혁신적인 수평 편광 펌프 프로브 (pump-probe) 설계를 통해 넓은 스펙트럼 범위에서 유전체 광학 상수를 파괴하지 않고 측정 할 수 있습니다. 포함 된 샘플 스테이지는 최대 44mm 직경의 샘플을 운송 할 수 있으며, 온도 프로브 (temperature probe) 와 비접촉식 (contactless) 측정을위한 통합 척 (integrated chuck) 을 포함한 다양한 액세서리가 장착되어 있습니다. 기계의 중심에는 터치 스크린 컴퓨터 인터페이스가 있습니다. 이 통합 터치 스크린 (Integrated Touch Screen) 을 통해 사용자는 도구와 상호 작용하고, 각각의 측정 매개변수를 구성하며, 샘플 요구사항에 맞는 표준화된 레시피를 생성할 수 있습니다. 사용자는 각각의 보정 커브 (calibration curve) 세트를 저장할 수도 있으며, 단일 버튼을 사용하여 데이터 수집을 자동화할 수 있습니다. 가에 트너 (Gaërtner) 의 자산 소프트웨어를 사용하면 매개변수를 구성하고, 샘플을 설정하고, 장비를 교정하고, 데이터를 분석할 수 있습니다. 수집된 데이터는 표 형식 또는 그래픽 형식으로 표시될 수 있으며, 소프트웨어에는 커브 피팅 (curve fitting) 및 플로팅 (plotting) 데이터를위한 강력한 기능이 포함되어 있습니다. 또한 통합 SDK (Integrated SDK) 를 통해 모델을 다른 애플리케이션에 통합할 수 있습니다. GAERTNER L115A 타원계는 사용자에게 정확한 측정 데이터 및 성능을 제공하도록 설계된 정밀 도구입니다. 자동화 기능 (automation capability) 과 고급 기능 (advanced features) 은 광범위한 연구 및 산업 응용에 이상적인 선택입니다.
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