판매용 중고 GAERTNER L106C #116155
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ID: 116155
웨이퍼 크기: 6"
Large substrate ellipsometer
Manual load
Stage: 15" diameter circle, rotates 360°
Radial sliding scale: Graduated in 0.1 cm increments
Total stage travel: 19.8 cm
Variable angle model
Used for measuring coatings on 14" diameter glass disks
Alignment:
Built-in axis of rotation of incident arms is in the sample plane
Method of measurement: Rotating analyzer samples (144) data points
Detector: Solid state with auto gain feature
Incidence angle: 30°, 45°, 50°, 55°. 60°, 65°. 70°, 75°, 80°, 90°
Light source: HeNe 6328A Laser gives less than 1 mW output on sample
Beam diameter (Standard): 1 mm diameter (1 X 3mm on wafer @ 70°)
Measurement time: 3 Seconds
Sample monitor:
(39) Power microscopes for surface viewing
Tilt monitor for checking sample out of flatness
Sample (wafer) size:
6" Diameter standard
3" Linear
360° Rotary motion covers any point on a 6" diameter wafer
Interface: RS232
Computer: IBM PS/2-25 Model 8525001
Film thickness range: 0-60,000 Angstroms
Accuracy: ±3 Angstroms
Repeatability: ±3 Angstrom
Refractive index: ± .005
Power: 115V, 100V, 220V, 230V, 240V.
GAERTNER L106C (GAERTNER L106C) 는 얇은 필름과 표면의 복잡한 광학적 특성을 측정하도록 설계된, 무접촉 타원계의 상태입니다. 이 장치는 필름의 두께와 광학 상수를 모두 예외 속도, 정확도, 반복성 (repeatability) 의 조합으로 결정할 수 있습니다. L106C는 컴팩트 (compact) 한 디자인으로, 데이터 로깅 및 데이터 분석을 위한 다양한 옵션을 제공합니다. 고급 광학 설계를 통해 GAERTNER L106C는 투명, 반 투명, 투명 불투명, 확산 표면과 같은 광범위한 샘플을 측정 할 수 있습니다. 이 장비는 광원으로 편광 변조 레이저 다이오드 (polarization-modulated laser diode) 를 사용하고 독특한 이중 아나모픽 프리즘 디자인을 통합하여 측정의 정확도를 높입니다. 타원계는 두께, 광학 상수 (optical constants) 및 굴절률 (refractive indices) 을 포함하여 중요한 필름 매개변수의 정확한 측정을 얻을 수 있습니다. 시스템은 동시에 여러 각도의 입사율을 스캔할 수 있으며, 이를 통해 사용자는 샘플의 복잡한 광학 특성 (optical properties) 을 신속하게 분석할 수 있습니다. 또한 L106C 에는 측정 데이터를 저장하고 분석하는 데 도움이 되는 포괄적인 소프트웨어 패키지가 포함되어 있습니다 (영문). 사용자 요구 사항에 맞게 소프트웨어를 사용자 정의할 수 있으며, 다양한 필름 매개변수 (film parameter) 조합을 저장하고 수집된 데이터를 기반으로 보고서를 생성할 수 있는 옵션을 제공합니다. 이 장치는 또한 편리하고, 빠르고, 정확한 샘플 위치를 위해 동력 샘플 스테이지를 갖추고 있습니다. 이를 통해 사용자는 다양한 샘플을 빠르고 정확하게 테스트할 수 있으므로, 일관성 있고 반복 가능한 (consistent, repeatable) 조건에서 측정값을 얻을 수 있습니다. 또한, 이 기계는 조명된 환경에서도 작동하도록 설계되었으며, 추가 광원이 필요하지 않습니다. GAERTNER L106C (GAERTNER L106C) 는 박막과 광학 표면에서 정확하고 안정적인 측정을 수행하는 강력한 다용도 도구입니다. 고급 디자인과 사용자 친화적 (user-friendly) 소프트웨어의 조합은 속도나 비용을 그대로 유지하면서 정확하고 반복 가능한 결과를 보장합니다. 이 장치는 반도체, 광전자, 디스플레이 기술 등 다양한 응용 분야에 적합합니다.
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