판매용 중고 VERTEX DJ-802V-H #293652809

VERTEX DJ-802V-H는 반도체 웨이퍼 제조 및 처리에 사용하도록 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 퍼니스는 전기 부품 제작에서 통제 된 산화, 드라이브 인, 어닐링 (annealing) 및 기타 관련 처리 작업을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 밀폐 및 이중 벽 구조를 사용하여이를 달성합니다. DJ-802V-H의 메인 챔버 (main chamber) 는 긴 수명을 보장하기 위해 고급 산화 내성 코팅이있는 직사각형 모양의 재킷입니다. 약실은 830 × 530mm 만 측정하며, 최적의 열 효율과 효과적인 온도 제어를 위해 독특한 3 파트 도자기 섬유 절연 장비를 갖추고 있습니다. 최대 작동 온도는 1250 ° C이며, 용광로 절연 벽은 우수한 균일성과 정확도를 유지할 수 있습니다. VERTEX DJ-802V-H (Vertex DJ-802V-H) 는 24 개의 고온 전기 소자를 갖춘 고급 공기 흐름 및 전기 가열을 갖춘 특수 가열 시스템을 갖추고 있으며, 운영자는 공정에 따라 온도 프로파일을 조정하도록 전체 제어합니다. 뿐 만 아니라, 이 구조 는 "가스 '흐름 도 제공 하도록 설계 되어 있는데, 이 흐름 은 각 가열 요소 의 온도 를 정밀 하게 조정 할 수 있게 해 준다. DJ-802V-H에는 독특하고 혁신적인 가스 장치가 장착되어 있습니다. 이 제품은 2 개의 가스 매니 폴드와 우회 가스 회로로 구성되어 있으며, 모든 프로세스에 높은 안정성과 큰 가스 처리량을 제공합니다. 용광로 챔버 (furnace chamber) 에는 오염 및 산소 고갈을 방지하기 위해 반응 가스를 빠르게 제거하도록 설계된 고효율 배기기가 장착되어 있습니다. 이 도구에 추가 장비가 포함되어 있어 확산 과정의 균일성과 정확성을 돕습니다 (영문). 여기에는 석영 내부 플레이트 및 웨이퍼 홀더, 웨이퍼 포지셔너, 냉각 트레이 및 관련 액세서리가 포함됩니다. 에셋은 또한 실시간 온도 판독을 위해 광범위한 열전대 (thermocouple) 유형과 호환됩니다. 모델과 함께 포함된 소프트웨어를 사용하면 연산자가 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다. VERTEX DJ-802V-H는 가장 엄격한 반도체 웨이퍼 처리 요구를 충족하도록 설계된 고급 확산 로와 액세서리입니다. 가스용 (Gas) 장비는 높은 안정성과 큰 가스 처리량을 제공하도록 설계된 반면, 밀폐와 이중 벽 (Dual-wall) 구조는 최적의 열 효율성과 정확성을 보장하도록 설계되었습니다. 고급 소프트웨어 (Advanced Software) 와 액세서리 (Accessory) 를 통해 모든 프로세스에 귀중한 기능이 추가되며, 운영자가 원하는 프로세스에 쉽게 프로그래밍할 수 있습니다.