판매용 중고 VEECO LSA 100 #293687430
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ID: 293687430
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2006
System, 12"
Frontend module
Electrical rack
Cassette to cassette handling
Optical output module
ROFIN DC035 Laser
Laser type: Carbon monoxide laser, 5000 W
(2) AFFINITY Heat exchanger, 25 kW
SEMI / JEITA Wafer thickness and flatness
Wafer type: Doped, Un-doped and SOI Substrate
Linear motor drive
Hot chuck
Damper
Transformer: 100 V
(2) Transformers: 400 V
Gases: CO 6%, He 94%, N2, CO2, Xe
Linear scan with fixed laser
Air ambient
Temperature: 1150°C-1350°C
LSA Chamber (DSI) with chemical filter option
Signal light tower
Water leakage sensor with pan
Electric leakage breaker
Touch screen monitor
Flat panel display
Graphical user interface
PC Controller
EBARA 25AAF202 Cooling water circulation pump missing
Non-functional parts:
Plate window
Mount blades (Left and right)
(2) Chillers (25 kW, 50 kW)
2006 vintage.
VEECO LSA 100은 고성능 반도체 처리를 위해 설계된 최고 수준의 확산 광로 장비입니다. 이 고급 시스템은 최첨단 기술 (최첨단 기술) 과 정밀 제어 (precision control) 를 결합하여 다양한 어플리케이션에서 우수한 결과를 제공합니다. LSA 100 은 견고한 구성과 소형 설치 공간을 갖추고 있어, 연구/생산 환경 모두에 적합합니다. 이 장치에는 고품질 쿼츠 튜브 (quartz tube) 가 장착되어 있어 온도 분포가 균일하고 작동이 안정적입니다. 이 "튜브 '는 일련의 가열 요소 에 의하여 가열 되는데, 이것 은 정밀 한 열" 프로파일' 을 달성 하기 위해 정교 한 온도 관리 기계 에 의해 조절 된다. VEECO LSA 100의 주요 특징 중 하나는 고급 가스 전달 도구입니다. 이 자산은 높은 순도 (purity) 와 정밀도 (precision) 로 광범위한 프로세스 가스를 제공 할 수 있습니다. 이를 통해 원하는 화학 반응이 튜브 내에서 이루어지며, 이는 일관되고 고품질 필름 증착을 초래합니다. LSA 100 은 또한 혁신적인 프로세스 제어 모델 (process control model) 을 탑재하여 사용자는 배치 프로세스를 손쉽게 프로그래밍하고 모니터링할 수 있습니다. 이 장비는 온도, 압력, 가스 흐름 속도, 기타 중요한 매개변수에 대한 실시간 데이터를 표시하는 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공합니다. 사용자는 사용자 지정 레시피를 쉽게 설정하고, 프로세스 성능을 모니터링하고, 실시간으로 조정하여 결과를 최적화할 수 있습니다. 주요 확산 용광로 장치 외에도, VEECO LSA 100에는 다양한 액세서리 (액세서리) 가 제공되어 기능 및 다양성을 향상시킵니다. 이러한 액세서리에는 가스 흐름 컨트롤러, 진공 펌프, 질량 흐름 컨트롤러 및 반도체 처리에 필수적인 기타 부품이 포함됩니다. 이 시스템은 또한 다양한 웨이퍼 (wafer) 크기와 재료와 호환되므로 다양한 어플리케이션에 적합합니다. LSA 100 은 반도체 업계의 까다로운 요구 사항을 충족할 수 있도록 설계되었습니다. 여기서 정밀성과 신뢰성은 가장 중요합니다. 이 장치는 산화, 어닐링, 도핑 등 다양한 프로세스를 수행 할 수 있습니다. VEECO LSA 100은 연구나 고급 반도체 장치 제조 (Manufacturing Advanced Semiconductor Devices) 를 수행하든지 간에, 뛰어난 결과를 얻으려면 필요한 성능과 제어를 제공합니다. 전반적으로 LSA 100은 탁월한 성능, 신뢰성 및 제어를 제공하는 최첨단 확산 퍼니스 머신입니다. 고급 기능, 사용자 친화적 인터페이스, 다목적 액세서리를 갖춘 이 툴은 반도체 처리 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 새로운 기술을 개발하거나 기존 프로세스를 최적화하려는 VEECO LSA 100 (VEECO LSA 100) 은 탁월한 성능을 제공하는 신뢰할 수 있는 솔루션입니다.
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