판매용 중고 VARIAN 200SJ #9269475

ID: 9269475
웨이퍼 크기: 6"
Ion implanter, 6".
VARIAN 200SJ는 다양한 유형의 재료를 처리하도록 설계된 고효율의 확산 로입니다. 이 용광로는 더 빠른 램프 속도와 낮은 열 구배를 위해 강력한 48kW 접합 제어 퀸치 모터 (quench motor) 를 갖추고 있어 재생성이 뛰어납니다. 이 고성능 퍼니스는 섭씨 1100 도까지 조정 가능한 쿼츠 반응 튜브 (quartz reaction tube) 를 가지고 있으며, 이는 광범위한 조건에서 효율적인 작동을 용이하게합니다. 8 개의 난방 구역 (heating zone) 을 갖춘 용광로는 섭씨 1200도까지 온도에 도달하여 빠르고 정밀한 처리를 할 수 있습니다. 확산 용광로 외에도, 200SJ에는 개선 된 프로세스 기능을위한 여러 액세서리도 포함되어 있습니다. 그중에는 고성능 사이드 암 드라이 가스 피더 시스템, 200cc/min 저압 질량 분석기, 정밀 세밀 튜닝 가스 믹서 및 쿼츠 가스 분사 튜브가 있습니다. 질량 분석기 (Mass Spectrometer) 는 가스 조성을 모니터링하는 데 더 큰 제어 및 정확성을 허용하는 반면, 가스 믹서 (Gas Mixer) 는 정확하고 일관된 가스 온도 및 압력 분포를 유지하는 데 도움이됩니다. 이것은 확산 영역과 기질의 균질성을 보장하는 데 도움이됩니다. 석영 주입 튜브 (quartz injection tube) 와 공압 (pneumatic gas pressure) 투표율은 반복 가능한 가스 흐름 속도와 국소화 된 처리에 대한 정확한 위치 제어를 촉진하는 데 도움이됩니다. 투표율은 냉각하는 동안 또는 기판을 적재 또는 하역하기 전에 소거 (purge) 하는 동안뿐만 아니라, quench 작업 중 가스 압력 및 유량을 정확하게 제어합니다. VARIAN 200SJ는 직관적이고 사용하기 쉬운 GUI (Graphical User Interface) 와 함께 고급 컴퓨터 제어 기능도 제공합니다. 이를 통해 사용자는 프로세스 레시피 (recipe) 를 신속하게 저장하고 리콜할 수 있으며, 실시간으로 퍼니스의 성능을 모니터링할 수 있습니다. 200SJ (200SJ) 는 다양한 유형의 재료를 처리하기 위한 탁월한 확산 로로, 프로세스 기능 향상을 위한 고급 기능과 액세서리 (accessory) 를 갖추고 있습니다. 이는 다양한 온도 하에서 정확하고 반복 가능한 (repeatable) 처리를 원하는 사용자에게 적합한 선택입니다.
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