판매용 중고 VAC AERO VAH 1220 HV-2 #9045828

VAC AERO VAH 1220 HV-2는 기판에 광범위한 재료를 배치하거나 도입하는 데 사용되는 확산 용광로 장비입니다. 이 시스템은 챔버, 외부 장착 진공 장치, 전원 공급 장치 등 여러 구성 요소로 구성되어 있습니다. 주 챔버는 2 개의 Nichrome 와이어 가열 요소와 1 개의 Amorphous Silicon (a-Si) 가열 요소로 구성된 3 개의 가열 요소에 의해 가열됩니다. 챔버의 온도는 1220 ° C까지 설정할 수 있으며, 균일 한 온도 프로파일은 ± 5 ° C 이내입니다. 챔버는 또한 105 Torr에서 10-10 Torr까지 레벨로 펌핑 될 수 있습니다. VAC AERO에는 제한된 온도 복구 시간 (LTRT) 기술이 장착되어 있습니다. 이 기능을 통해 사용자는 하나의 어닐링 온도 (annealing temperature) 에서 여러 배치 (batch of work) 를 집중할 수 있으므로 시간이 많이 소요되는 온도 사이클링을 제거할 수 있습니다. LTRT는 컴퓨터 제어 패널에 의해 0.1 ° C 이내로 제어됩니다. 챔버 자체 외에도 VAC AERO에는 가스 배달기가 장착되어 있습니다. 이 전달 도구는 필요한 프로세스 가스를 도입 할 수있는 2 개의 제어 밸브 (control valv) 로 구성됩니다. 그런 다음 이러한 가스를 매우 낮은 수준으로 쉽게 펌핑 할 수 있습니다. 마지막으로, 자산에는 안전 및 편의성을 극대화하기 위해 설계된 여러 액세서리가 장착되어 있습니다. 여기에는 챔버 및 공정 모니터링을위한 화재 석영 유리 뷰 포트, 자동 잠금 압력 해소 밸브, 비활성 가스 퍼지 모델 및 온도 측정을위한 인콜로이 등급 (Incoloy grade) 열 코플이 포함됩니다. 전체적으로, VAH 1220 HV-2는 기판에 재료를 증착하기위한 다재다능한 도구입니다. 고온도 (고온도) 와 고정밀도 (고해상도) 제어를 통해 첨단 연구개발 (R&D) 실험실을 위한 이상적인 장비로 꼽힌다.