판매용 중고 ULVAC V8-100LC #9373098
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ID: 9373098
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2001
Vertical furnace, 6"
Process: D-Poly
Gases: N2, SiH4, Ph3, ClF3
Temperature: 800°C
Pressure: 130 Pa
Speed: 100 mm/min
(120) Wafer sheets
2001 vintage.
ULVAC V8-100LC는 반도체 산업을위한 전문적인 어닐링, 확산 및 brazing 애플리케이션을 위해 설계된 다재다능한 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 이 확산 용광로 및 액세서리 시스템에는 100mm 직경의 계산관을 가진 8 인치 ID 용광로와 온도 측정, 온도 조절 및 열 절연 시스템이 포함됩니다. 이 특정한 유닛의 특징은 자동 흐름 제어 메커니즘 (automatic flow control mechanism) 으로, 연산자는 용광로의 반응 욕조 온도 변화에 따라 이온화 된 가스 흐름 속도를 자동으로 조정 할 수 있습니다. 이 퍼니스 머신 (furnace machine) 은 또한 반복 성과 정확성을 위해 프로세스 매개변수의 온도 조절 및 정확한 조절을 최적화하는 디지털 PID 온도 컨트롤러를 갖추고 있습니다. 또한, 이 확산은 다양한 단열재 및 고진공 압박 기술을 통합하여, 재료를 확산 또는 어닐링 할 때 최대 효율성을 제공합니다. 안전성 측면에서 볼 때, V8-100LC 확산 로는 자동화된 긴급 차단 (Emergency Shutoff) 도구를 갖추고 있으며, 이 도구는 온도나 과압박 상태의 경우 용광로 전원 공급 장치를 자동으로 차단합니다. 자산에는 여러 개의 센서 (sensor) 와 경고 경보 (warning alarm) 가 장착되어 있어 운영자는 항상 잠재적 인 문제를 인식 할 수 있습니다. ULVAC V8-100LC 확산로 (diffusion furnace) 및 액세서리 (accessory) 모델도 열 단열 손실이 적어 성능 저하 없이 다양한 응용 프로그램에서 사용할 수 있습니다. 이 유형의 저열 손실 (low thermal loss) 은 사용 된 절연 재료와 용광로 (furnace) 어셈블리의 효율적인 설계를 통해 얻어집니다. 열 손실이 낮으면 작동 중 에너지 효율도 향상됩니다. V8-100LC 확산 광로 및 액세서리 장비도 간편한 서비스 및 유지 관리를 위해 설계되었습니다. 예를 들어, 필터를 빠르게 변경하고 검사할 수 있으며, 용광로 바디 (furnace body) 를 단면으로 분해하여 쉽게 액세스하고 유지 관리할 수 있습니다. 또한, 용광로 시스템은 열 절연 손실이 낮기 때문에 진동-흡수 내성을 가지고 있으며, 반복 가능한 프로세스에 신뢰할 수있는 결과를 제공합니다. 전체적으로 ULVAC V8-100LC는 반도체 산업 응용을위한 이상적인 확산 용광로 및 액세서리 장치입니다. 이 제품은 정확한 온도 조절 및 규제, 광범위한 안전 기능, 저열 단열손실 (low thermal insulation loss) 기능을 제공하여 성능 효율성을 극대화합니다. 다재다능한 디자인과 간편한 유지보수 (maintenance) 기능을 갖춘 이 확산 퍼니스와 액세서리 머신은 다양한 어닐링 (annealing) 및 확산 (diffusion) 어플리케이션에 적합합니다.
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