판매용 중고 ULVAC V8-100LC #9350448

ID: 9350448
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2009
Vertical furnaces, 6" Process: Poly-Si (2) Main body Duct unit (2) Doors Control unit Heater Top cover Pump rack 2009 vintage.
ULVAC V8-100LC는 고급 프로세스 및 재료 엔지니어링 분야의 글로벌 리더 인 ULVAC, Inc.에서 설계 및 제조 한 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 실리콘 웨이퍼 (silicon wafer) 와 패턴 기판 (pattered substrate) 을 포함한 다양한 재료에 대해 고정밀 확산 어닐링을 제공하도록 설계된 이 시스템은 최적의 희토류 합금 통합 및 기타 생산 공정에 도달하기에 이상적인 시스템입니다. V8-100LC 장치는 스테인레스 스틸 (stainless steel) 로 만들어진 용광로 챔버 (furnace chamber) 로 구성되며 부동 형 절연 구조를 사용하여 챔버 전체에 걸친 꾸준한 온도 분포와 우수한 열 절연을 더 잘 유지합니다. 또한, 병렬 트윈 샷건 (twin-shotgun) 형 난방기는 챔버 전체에서 뛰어난 난방 속도와 균일 성을 가능하게하여 빠르고 균일 한 확산 어닐링을 허용합니다. 챔버 내부는 또한 확산 과정을위한 최적의 가스 흐름을위한 구조를 포함한다. 이 도구에는 열 차폐 (heat shield) 와 통합 컨트롤러와 소프트웨어로 구성된 제어판 (control panel) 이 함께 제공됩니다. 구성 가능한 매개변수를 사용하면 용광로 (furnace) 와 확산 프로세스 (diffusion process) 의 온도, 압력, 흐름을 정확하게 제어할 수 있습니다. 통합된 컴퓨터와 소프트웨어 자산을 통해 더욱 정확한 제어가 가능하므로, 복잡하고 정교한 프로세스 관리 (process management) 가 가능합니다. 이 모델에는 용광로 챔버 (Furnace Chamber) 와의 안전한 소개 및 제거를위한 독점 적재 장비가 장착되어 있습니다. 장전 "시스템 '은 장전 후 에 그 장치 가 안전 한 압력 을 유지 하도록 돕는다. 자동 안전 장치 (Automatic Safety Machine) 도 비상 사태에 포함되어 있으며, 화염 억제, 온도 초과 보호 등의 기능이 포함되어 있으며, 운영자가 안전하고 안전하게 작동 할 수 있습니다. 이 도구에는 사용자 정의를 위한 다양한 옵션 기능도 포함되어 있습니다. 여기에는 다른 용광로에 대한 버너 에셋 (옵션), 강력한 냉각 팬, 스퍼터링 및 도핑 모델 (옵션) 이 포함됩니다. 장비의 고급 자동화 기능은 원하는 재료를 웨어하우징 (warehousing) 및 적재하는 데 도움이 됩니다. ULVAC V8-100LC 시스템은 산업 및 연구 목적으로 재료의 확산 어닐링을위한 뛰어난 솔루션을 제공합니다. 이 장치는 견고한 설계와 고급 자동화 기술 (Advanced Automation Technology) 을 통해 효율적이고 정밀한 확산 어닐링 (Diffusion Annealing) 프로세스를 통해 다양한 생산/연구 절차를 완벽하게 선택할 수 있습니다.
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