판매용 중고 ULVAC V8-100L #9373106
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ID: 9373106
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1997
Vertical furnace, 6"
Process: Oxide
Gases: N2, O2, H2, N2O, HCl
1997 vintage.
ULVAC V8-100L은 현재 시장에서 사용할 수있는 가장 고급 확산 용광로 중 하나입니다. 반도체 소자 제작, 분석, 연구 등 다양한 응용프로그램을 수행하도록 설계되었습니다. 이 제품은 운영 성공의 오랜 역사를 지니고 있으며, 애플리케이션 요구 사항에 맞춘 다양한 기능을 갖추고 있습니다 (영문). V8-100L은 최대 1100 개의 누적 와트를 작동 할 수있는 단일 영역 오븐입니다. 섭씨 25도에서 1400도 사이의 넓은 작동 온도를 가지고 있습니다. 온도는 통합 PID (비례 적분 파생) 컨트롤러의 도움을 받아 +/-5도 이내로 제어 및 모니터링 할 수 있습니다. 작은 설치 공간에 적합한 컴팩트한 디자인으로, 작동이 간편합니다. 이 용광로는 최대 효율성을 위해 고밀도 알루미나로 구성된 내장 내부 라이너를 갖추고 있습니다. 이 내부 "라이너 '는 무더기 를 제거 하고, 균일 한 열 분배 를 하며," 오븐' 의 유용 한 수명 을 연장 시킨다. 또한, 내부 라이너로 자른 그루브로 구성된 티타늄/구리 가열 요소가 특징입니다. 이 그루브는 가열 요소와 가공소재 사이의 열 전달을 최적화합니다. 안전성 측면에서 ULVAC V8-100L은 여러 보호 기능을 통합합니다. 이 용광로에는 여러 개의 고장 안전 (fail-safe) 시스템이 장착되어 있으며, 비정상적인 온도나 압력이 감지되면 장치를 종료할 센서를 제한합니다. 또한 비정상적인 가치를 느낄 때마다 가스를 차단하는 가스 차단 밸브 (gas shoff valve) 가 내장되어 있습니다. 또한, 퍼니스에는 N2 및 O2 인화성 탐지 시스템 (flammability detection system) 이 있으며, 이러한 인화물의 위험한 수준을 감지하면 전원이 차단됩니다. V8-100L에는 최적의 결과를 얻기 위해 여러 액세서리가 제공됩니다. 여기에는 가스 제어 용 가스 라인 매니 폴드 및 조절기, 고정 적재용 쿼츠 보트, 배치 적재용 19 리터 벨 항아리가 포함됩니다. 또한 ULVAC V8-100L은 RF 지원 ULVAC SB-1200 납북 철, ULVAC White Light Accelerometer 및 다용도 ULVAC P5 샘플 홀더와 같은 많은 ULVAC 브랜드 주변 장치와 호환됩니다. 전반적으로, V8-100L 은 효율적이고 정밀한 처리에 대한 수요를 충족시키는, 고도의 신뢰성 있는 확산 로입니다. 티타늄/구리 가열 요소, 내장 가스 차단 밸브 및 인화성 탐지 시스템 (flammability detection system) 과 같은 특징으로, 이 오븐은 제조, 분석, 연구에 이르기까지 많은 응용 분야에 이상적입니다. 또한 많은 ULVAC 브랜드 주변 장치와 함께 작동하기에 충분합니다.
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