판매용 중고 ULVAC V8-100 #9374733

ULVAC V8-100 확산 로는 실험실 환경에서 빠르고 반복 가능한 확산 프로세스를 제공하는 데 사용되는 효율적이고 정밀한 장비입니다. 공정을 정확하게 조정하는 데 사용할 수있는 다양한 기능과 액세서리가 있습니다 (영문). V8-100 전원 공급 장치는 0-100V 의 정류 DC 전원 공급 장치로, 필라멘트 및 전극에 전원을 공급합니다. 챔버는 상단과 하단으로 구성된 2 피스, 내화 흑연 코팅 내부 진공 챔버입니다. 챔버는 진공 펌프와 연결되어 있으며, 용량은 70mbar입니다. ULVAC V8-100에는 최대 1200 ° C의 온도에 도달 할 수있는 난방 요소가 있으며, 기본 온도는 20 ° C입니다. 확산 용광로는 또한 샘플, 웨이퍼 (wafer) 또는 기판 히터와 함께 온도 조절을위한 다양한 열전대를 가지고 있습니다. 고온은 텅스텐 필라멘트 (tungsten filament) 를 사용하여 생성되며, 온도는 석영 그리드를 사용하여 제어됩니다. 석영 "그리드 '는 확산 로 의 안벽 주위 를 나선 으로 하고 진공실 의 입자 에 대한 방패 역할 을 한다. 또한 V8-100에는 가스 분사 장비, 비활성 가스 공급 장치, 샘플 전송 시스템 (sample transfer system) 과 같은 여러 액세서리가 있습니다. "가스 '주입 장치 는" 아르곤' 과 같은 불활성 "가스 '의 연속적 인 흐름 을 제공 하여 진공실 내 의 오염 물질 의 농도 를 최소화 하도록 설계 되었다. 비활성 "가스 '공급 은 다른 과정 을 위해" 가스' 의 순수 한 공급원 을 "가스 '에 공급 하는 데 사용 된다. 샘플 전송 머신 (sample transfer machine) 은 샘플을 공기 중에 노출시키지 않고 챔버 안팎으로 효율적으로 이동하는 데 사용됩니다. ULVAC V8-100에는 용광로 작업을 프로그래밍하는 데 사용할 수있는 통합 제어 도구가 있습니다. 이 자산은 모든 프로세스를 정확하게 제어, 모니터링할 수 있도록 설계되었으며, 분석 및 최적화에 대한 다양한 피드백 (feedback) 정보도 제공합니다. 또한 사용자는 이 모델을 사용하여 설정과 레시피를 저장하여 효율성을 극대화할 수 있습니다. 요약하면, V8-100 확산 로는 정밀한 확산 과정을 위해 실험실 환경에서 사용할 수있는 정교한 장비 중 하나입니다. 고온에 도달하는 한편, 다양한 기능과 액세서리 (액세서리) 를 제공하여 설정을 최적화하여 효율성을 극대화할 수 있습니다 (영문).