판매용 중고 ULVAC V8-100 #9373074
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ID: 9373074
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2008
Vertical furnaces, 6"
Process: Oxide
Gases: N2, O2, H2, HCL
2008 vintage.
ULVAC V8-100은 확산 로와 관련 액세서리입니다. 이 제품은 저압 (low pressure) 과 저열 하중 (low thermal load) 의 조합으로 가능한 고품질 증기 상 어닐링 확산을 위해 설계되었습니다. 이것은 반도체, 금속, 세라믹 및 폴리머와 같은 다양한 재료의 표면 어닐링을위한 이상적인 도구입니다. V8-100은 스태킹 턴테이블과 함께 870 리터 CVD 챔버, 터보 분자 진공 펌프 및 로터리 다이렉트 드라이브 메커니즘을 포함하는 배기 시스템으로 구성됩니다. 턴테이블은 표본의 빠른 로드 및 언로드 (unloading) 와 균일 한 확산을 위한 고밀도 표본의 포지셔닝 (positioning) 을 위해 설계되었습니다. 터보 분자 진공 펌프는 CVD 챔버에서 안정적이고 저압 환경을 보장하여 증기 확산을 가능하게합니다. 회전 직접 구동 메커니즘은 균질 확산을 위해 매끄럽고, 지속적인 작동 및 개선 된 가스 흐름을 가능하게합니다. ULVAC V8-100 은 프로세스 자동화 및 실시간 모니터링을 지원하는 최첨단 제어 시스템을 갖추고 있습니다. 제어 시스템에는 직관적인 GUI, 실시간 압력 모니터링, 자동 레시피, 프로세스 경보, 프로그래밍 옵션 및 여러 안전 및 fail-safe 기능이 포함됩니다. 또한, 이 제품은 최대 10 가지 레시피를 저장할 수 있으며, 이 레시피는 빠르게 액세스하여 사용자 정의 프로세스를 만드는 데 사용할 수 있습니다. V8-100은 수평 분할 로 (horizontal split furnace) 설계, 균일 하지 않은 가스 분포 메커니즘 및 환경에 불필요한 열 전달을 방지하는 고급 냉각 시스템을 갖추고 있습니다. 또한, 확산 로의 최대 온도는 약 1400 ° C이며, 이는 수많은 응용 분야에 이상적인 도구입니다. 낮은 열 부하 (thermal load) 는 샘플에 대한 원치 않는 열 충격을 최소화하고 다양한 물질의 균일 한 확산을 보장합니다. ULVAC V8-100은 사용자 친화적이고 내구성이 뛰어나며 효율성이 뛰어납니다. 정확성, 신뢰성, 정확성에 대해 광범위하게 테스트되었으며 일반적으로 유지 보수가 무료입니다. 또한, 다양한 산업 및 어플리케이션에서 안전하게 사용할 수있는 안전 (safety) 기능으로 설계되었습니다. V8-100 은 뛰어난 내구성, 품질, 성능을 위해 설계된 안정적이고 효율적인 확산 로와 관련 액세서리입니다.
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