판매용 중고 ULVAC V8-100 #9350446

ULVAC V8-100
ID: 9350446
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2009
Vertical diffusion furnace, 6" 2009 vintage.
ULVAC V8-100은 확산 로와 그 액세서리로, 단일 또는 배치로 최대 8 개의 100mm 디스크를 흐리게 설계되었습니다. 작동 온도는 최대 1120 ° C이며 어닐링 (annealing), 소결 (sintering) 및 황삭 (brazing) 응용 프로그램에 사용할 수 있습니다. V8-100 Furnace에는 내부 환경을 높은 진공 압력 하에서 유지하는 자동 진공 장비가 장착되어 있습니다. 이렇게 하면 용광로 내에서 일관된 환경을 유지하여 프로세스 제어 및 반복 (repeatability) 을 철저히 수행할 수 있습니다. 또한 장비 내부의 정확한 온도 균일성을 가능하게하는 동굴 레이저 측정 시스템 (cavity laser measurement system) 이 있습니다. 이 용광로에는 고급 온도 조절 기계 인 HZCC (Horizontal Zoned Centralized Control) 장치 (HZCC) 가 장착되어 있어 용광로 내부의 모든 작동 수준에서 온도 조절 및 감독을 완료할 수 있습니다. ULVAC V8-100은 또한 더 단순하고 부드럽게 작동하도록 설계된 액세서리 어레이를 갖추고 있습니다. 이러한 액세서리에는 로더/언로더 도구, 별도의 컨트롤러 장치 및 특별히 설계된 공압 자산이 포함됩니다. 로더 (loader )/언로더 (unloader) 모델을 통해 운영자는 용광로 안팎으로 기판을 빠르고 안전하게 이동할 수 있으며, 공압 장비는 최적 확산을 위해 압력 수준을 최적화하는 데 도움이됩니다. 이러한 액세서리 외에도, V8-100은 여러 개의 가스 주입 시스템 (gas injection system) 으로 설계되어 서로 다른 반응성 가스를 사용하여 확산이 빠르고 정확하게 발생할 수 있습니다. 이 장치는 또한 필요한 경우 가스 교환 (gas exchange) 을 허용하고 예열된 가스를 재사용함으로써 완전한 프로세스 제어 및 반복성을 허용합니다. ULVAC V8-100 확산 로는 최소한의 열 응용 프로그램으로 디스크를 희미하게 만드는 효율적이고 안정적인 방법을 제공합니다. 그것 은 여러 가지 특징 과 "액세서리 '를 가지고 있는데, 그것 은 여러 가지 확산" 응용프로그램' 을 위한 귀중 한 장비 를 더해 준다.
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