판매용 중고 ULVAC Rise 300 #9297203

ULVAC Rise 300은 고급 장치 기술의 이온 이온 이식, 빠른 열 처리, 도펀트 확산에 사용되는 다목적 확산 로와 보조 장비입니다. 수직 실린더 모양의 석영 챔버 (quartz chamber) 가 특징이며, 최대 3 개의 독립 비활성 가스 소스와 빠른 용광로 대피를위한 진공 장비가 장착되어 있습니다. 또한, 퍼니스는 반응 포트를 통해 소스 물질을 인정할 수 있으며, 반응 챔버 내부로의 반응물 대량 수송 (mass transport) 을 가능하게한다. 용광로는 회전 대칭 트리플 존 (triple-zone) 가열 배열을 자랑하며, 전체적으로 균일 한 온도를 제공하며, 0.2m 인테리어의 정확한 온도 조절이 가능합니다. 라이즈 300 (Rise 300) 은 다양한 온도 (1 ~ 300 ° C) 에서 다양한 처리를 가능하게하며, 각 영역 및 공정 대기의 치수를 조정할 수 있도록 설계되어, 다른 프로세스 요구 사항을 수용하도록 시스템의 적응을 용이하게합니다. ULVAC Rise 300에는 고정밀 디지털 데이터 획득 장치가 장착되어 있으며, 해상도 10 ° m 및 0.1 ° C의 온도 프로파일 데이터를 얻을 수 있습니다. 임베디드 소프트웨어 제품군을 사용하면 난방 프로파일과 시퀀스를 세밀하게 조정할 수 있습니다. 나중에 분석하기 위해 프로파일 (profile) 데이터를 다양한 데이터 출력 형식으로 저장하거나, 일반적으로 사용되는 소프트웨어 패키지로 전송할 수 있습니다. Rise 300 시리즈는 또한 +/- 3 ° C의 정확도를 가진 내장 열 피로미터 및 IR 히터를 특징으로하여 온도 및 공정 대기를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 보조 장치 스택에는 전원 공급 회로, SiC 보트 액츄에이터, 배기 가스 분리 장치 및 진공 펌프가 포함됩니다. 각 구성 요소는 사실상 유지 보수가 필요 없으며, 뛰어난 안정성을 제공하도록 특별히 설계되었습니다. 이 기계는 또한 물 (water) 과 먼지 증명 (dust-proof) 이며 구성 요소 분해의 위험없이 간헐적으로 작동하고 가혹한 조건으로 저장할 수 있습니다. ULVAC Rise 300 의 납품 패키지는 사용자의 경험을 최적화하고 디바이스의 효율적인 운영을 보장하기 위한 소프트웨어, 하드웨어, 기타 구성 요소 (complemetary package) 입니다. 종합적인 문서와 사용 편의성 (Euse of Use) 을 통해 광범위한 연구/생산 활동에 대한 매력적인 선택이 가능합니다.