판매용 중고 ULVAC Rise 300 #293608971

ULVAC Rise 300은 반도체 및 재료 처리에서 비교할 수없는 성능을 제공하는 최첨단 확산로 및 액세서리입니다. 확산, 어닐링, 에피 택시 성장 및 산화와 같은 응용 분야에 적합합니다. Rise 300에는 독립 컨트롤러가있는 4 개의 쿼츠 챔버가 장착되어 있어 유연성과 이중화가 가능합니다. 섭씨 1240 도의 최대 온도로 ULVAC Rise 300은 다양한 기판 및 공정을 수용 할 수 있습니다. Rise 300은 성능과 안정성을 크게 향상시키기 위해 설계된 다양한 기능을 제공합니다. 내장 센서와 PID 컨트롤러는 온도가 정확하고 효율적으로 관리되고 유지되도록 합니다. 특허를받은 윈드 쉴드 (WindShield) 장비는 2 개의 독립적 인 가스 라인과 조정 가능한 미로 배플 (baffle) 을 제공하여 작업 실에서 균일 한 온도 분배를 보장합니다. 이것은 입자 침식을 방지하며, 이는 궁극적으로 온도 구배를 초래하여 기질 온도 균일성을 증가시킬 수 있습니다. ULVAC Rise 300 (ULVAC Rise 300) 에는 직관적인 사용자 인터페이스가 있어 사용자가 터치 패널 디스플레이에서 매개변수를 설정하고 모니터링할 수 있습니다. 또한 프로세스 제어를 개선하기 위한 고급 제어 (Advanced Control) 기능과 사용자 액세스를 위한 암호로 보호된 인증 시스템 (Password Protected Authentication System) 도 포함되어 있습니다. 또한 Rise 300에는 열 드리프트 (drift) 를 방지하는 냉각 장치가 내장되어 있어 처리 중 제어와 정확성이 향상됩니다. ULVAC Rise 300에는 최적화된 성능과 향상된 안전을 위해 여러 액세서리가 장착되어 있습니다. 팽창 가능한 필름 물개 (inflatable film seal) 는 상하 (top and bottom housing) 의 밀폐물을 제공하여 작동 중 챔버에서 공정 가스가 누출되는 것을 방지합니다. 용광로에는 독립적 인 전원 공급 장치 및 과온 모니터링 기계도 장착되어 있습니다. 이로써 기판이 조기에 가열되고 전기 부품이 손상되지 않습니다. 마지막으로, 배기 선 및 필터는 공기 입자 (airborne particle) 로 인한 잠재적 인 문제를 제거하기 위해 깨끗한 배기 먼지 배출이 수집되도록 보장합니다. Rise 300 은 신뢰할 수 있고, 견고하며, 사용자 친화적인 툴로, 우수한 결과를 얻어 다양한 프로세스를 수행할 수 있습니다. 직관적인 사용자 인터페이스와 결합 된 고급 제어 시스템 (Advanced Control System) 은 ULVAC Rise 300을 고급 반도체 및 재료 처리에 적합한 장치로 만듭니다.