중고 TRIKON / AVIZA (확산로 및 액세서리) 판매용

확산 용광로 (diffusion furnace) 는 열 처리 응용을위한 반도체 산업의 핵심 도구입니다. TRIKON 및 AVIZA 브랜드는 널리 알려진 확산 용광로 및 관련 액세서리 제조업체입니다. 이러한 확산 용광로는 정확하고 제어된 열 처리를 위해 고급 기술과 기능을 제공합니다. TRIKON 및 AVIZA 확산 로에는 성능과 기능을 향상시키는 다양한 액세서리가 장착되어 있습니다. 일반적인 액세서리로는 가스 패널, 웨이퍼 보트, 쿼츠웨어 및 온도 컨트롤러가 있습니다. 가스 패널 (gas panel) 은 다른 프로세스에 대한 정확한 가스 흐름을 제공하는 데 도움이되며, 웨이퍼 보트는 웨이퍼 처리 중 균일 한 열 분배를 보장합니다. 쿼츠 튜브 (quartz tube), 보트 (boats), 인젝터 (injector) 와 같은 쿼츠웨어 (Quartzware) 는 높은 열 균일성을 유지하기 위해 웨이퍼를 보유 및 전송하는 데 사용됩니다. 온도 컨트롤러는 확산 과정에서 정확한 온도 조절을 보장합니다. TRIKON 및 AVIZA 확산의 장점은 최첨단 기술, 고품질 구성, 신뢰성에 있습니다. 즉, 뛰어난 열 균일성, 엄격한 프로세스 제어, 반복성을 제공하여 우수한 프로세스 생산량 및 주기 시간을 제공합니다. 이 용광로 (furnace) 는 또한 특정 프로세스 요구 사항을 충족할 수 있도록 사용자 정의가 가능하므로 반도체 업계의 광범위한 어플리케이션에 적합합니다. TRIKON 및 AVIZA 확산 용광로의 예는 Celsior 시리즈를 포함합니다. 섭씨 (Celsior) 시리즈는 빠른 열 어닐링, RTP 및 저압 CVD 기능과 같은 고급 기능을 제공하여 다양한 어플리케이션에 대해 정확하고 효율적인 열 처리를 지원합니다. 다른 모델로는 다양한 기능과 프로세스 성능으로 알려진 TMA 3000 및 TMA 5000 시리즈가 있습니다. 전반적으로, TRIKON 및 AVIZA 확산 로는 관련 액세서리와 함께 반도체 업계의 열 처리 요구에 대한 최첨단 기술, 유연성, 신뢰성을 제공합니다.