판매용 중고 TP SOLAR MD 246 #9279732

TP SOLAR MD 246
ID: 9279732
빈티지: 2018
Fast firing IR furnace Specifications: Wafer transfer height (mm): 955 ± 35 No of lanes and pitch (mm): 2 Lanes @250 pitch (centre to lane centre), single tunnel Wafer sizes, mono and multi crystalline (mm): MO (156 x 156), M2 (156.75 x 156.75) Easily modified for M4 (161.7 x 161.7mm) by belt change Belt speed range (mm/s): 50 to 170 preferred, 50 to 145 acceptable Belt speed accuracy (%): ± 0.75 Belt type: Edge contact, NiCr Steel mesh Wafer repeatability on belt start position to end position (mm): ± 4 Wafer breakage rate (%): 0.05 (~2.8 broken wafers per hour @ 125k wafers per day) Roller diameter, entry / Exit (mm): 152 / 49 (excluding belt) Feed direction: Left to right Length (metres): 9.4 ± 0.1 Height furnace (metres): < 1.7 Height VOC oxidiser (metres): < 1.95 Weight per section (Kgs): Drying (6 legs) < 2100, firing (6 legs) < 1425, cooling (6 legs) < 1250 Functional: Up time (%): > 98.5 Wafer to wafer temperature uniformity under full load (C): ± 5 (S 250 mm lane pitch and 180 mm pitch within each lane VOC Oxidiser efficiency (%): > 98% Wafer exit temperature: < 55°C Throughput (Mean wafers/hour): > 5600 @ 180 mm wafer pitch Maximum temperature firing: 1000°C Maximum temperature drying: 400°C MTBA (Minutes): > 20 MTTA (Minutes): < 0.5 MTBF (Hours): > 7700 MTTR (Minutes): s30 Power supply: 50/60 Hz, 380-480 VAC, 3 Phase 2018 vintage.
TP SOLAR MD 246은 LPE Equipment Incorporated에서 설계 및 제조 한 품질 확산 로입니다. 예술 "디자인 '의 상태 로, 확산 로 는 열 의 손실 을 최소화 하는 최상 의 품질 의 구조, 그리고 안전 과 사용 편의성 을 갖추고 있다. 이 장치는 크고 작은 웨이퍼를 수용 할 수있는 견고한 구조와 다용도 크기입니다. 확산 로에는 성능 및 효율성을 더욱 향상시키는 다양한 액세서리 (accessory) 가 제공됩니다. MD 246은 고온 진공 확산 기술을 사용하여 웨이퍼에 정확한 박막 층을 배치합니다. 이를 통해 사용자는 금속, 산화물, 질화물, 불소 및 폴리 실리콘 (poly-silicon) 과 같은 다양한 박막 (thin film) 을 매우 반복 가능한 방식으로 기판에 배치 할 수 있습니다. 이 고온 확산 (high temper diffusion) 기술은 최고 수준의 반복 가능성을 보장하며, 박막 레이어의 크기를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 이러한 기능을 지원하기 위해 TP SOLAR MD 246에는 다양한 액세서리가 제공됩니다. 이 중 가장 중요한 것은 냉각 코일 (coils) 인데, 이 코일은 열 손실을 최소화하기 위해 특별히 설계되었습니다. "코일 '은" 웨이퍼' 를 균일 하게 식히고 최고 수준 의 반복 가능성 을 보장 하도록 설계 되었다. 확산 용광로 (diffusion fornace) 는 또한 벨로우 (bellow) 와 함께 제공되어 안전한 적합성을 보장하며, 진공 환경에서 사용될 때 진공 호스를 누수 밀봉을 허용합니다. 또한, 이 장치는 확산 챔버에서 정확한 온도 판독을 허용하는 열전대 (thermocouple) 와 함께 배송됩니다. 에센셜 (Essential) 액세서리 외에도 다양한 옵션 액세서리가 제공됩니다. 여기에는 히터, 증발기, 칠러가 포함되며, 각각 확산 실에 다재다능성을 더합니다. 또한, 이 장치에는 PC에서 장치 (unit) 를 완전히 제어할 수 있는 소프트웨어가 함께 제공되며, 이를 통해 사용자는 확산 과정에서 온도 (temperature) 및 기타 변수를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 전반적으로 MD 246은 다양한 기능을 제공하는 우수한 확산 로입니다. 강력한 구성, 고온 진공 확산 기술, 다양한 액세서리 (accessory) 를 갖춘 이 장치는 안전성과 사용 편의성을 제공하면서 최고 수준의 반복성과 정확성을 보장합니다.
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