판매용 중고 TOYOKO KAGAKU MC-1 #293758542

토요코 카가 쿠 MC-1 (TOYOKO KAGAKU MC-1) 은 반도체 제조 응용을위한 실리콘 기판으로 도펀트 재료의 정확하고 통제 된 확산을 위해 설계된 고급적이고 다용도 확산 용광로 장비입니다. 이 제품은 다양한 혁신적인 기능과 액세서리 (액세서리) 를 갖추고 있어 전체 웨이퍼 표면에 걸쳐 높은 처리량, 뛰어난 반복성, 뛰어난 균일성을 제공합니다. MC-1 확산 로는 고온 및 거친 화학 환경에 강한 견고한 견고한 스테인리스 스틸 챔버 (stainless steel chamber) 로 구성됩니다. 챔버에는 여러 가열 요소, 가스 분포 시스템, 온도 및 압력 제어 메커니즘, 도펀트 재료 전달을위한 유출 셀 (effusion cell) 이 장착되어 있습니다. 이러 한 구성 요소 들 은 시너지 작용 을 하여, 확산 과정 에 기여 하는 "챔버 '내 의 조종 된 대기 를 조성 한다. TOYOKO KAGAKU MC-1 확산 로의 주요 기능 중 하나는 고급 온도 조절 시스템입니다. 용광로는 최고 1200 ° C의 온도에 도달 할 수 있으며, 높은 수준의 정확도와 안정성을 제공합니다. 이 정확한 온도 조절은 작은 온도 변화조차도 불균일 한 도핑 프로파일 (doping profile) 과 손상된 장치 성능 (device performance) 을 초래할 수 있기 때문에 실리콘 기판으로 도펀트 재료의 적절한 확산을 보장하는 데 필수적입니다. MC-1 확산 로에는 정교한 가스 분배 장치 (gas distribution unit) 가 포함되어 있어 챔버에 도펀트 가스를 정확하게 도입 할 수 있습니다. 다른 반도체 장치의 특정 도핑 요구사항을 충족시키기 위해 가스 유량 (gas flow rate), 압력 (pressure) 및 분배 패턴 (distribution pattern) 을 사용자정의할 수 있습니다. 이 제어 수준 (level of control) 은 도펀트 재료가 웨이퍼 표면에 균등하게 분포되어 일관되고 안정적인 장치 성능을 제공합니다. 온도 및 가스 제어 기능 외에도, TOYOKO KAGAKU MC-1 확산 로에는 도펀트 재료의 제어 된 전달을위한 유출 셀이 장착되어 있습니다. 이들 세포 에는 고체 도펀트 (dopant) 공급원 이 들어 있는데, 그것 을 가열 하여 도펀트 증기 를 챔버 에 방출 시킬 수 있다. "에퓨전 '세포 를 쉽게 적재 하고 적재 할 수 있으며, 이것 을 통해 처리" 런' 간 에 빠르고 효율적 인 물질 을 변화 시킬 수 있다. MC-1 확산 로는 기능 및 다양성을 향상시키기 위해 다양한 액세서리를 제공합니다. 이러한 액세서리에는 웨이퍼 로딩 메커니즘, 냉각 시스템, 가스 정화기, 진공 펌프 및 웨이퍼 처리 로봇이 포함될 수 있습니다. 이러한 액세서리는 확산 프로세스를 간소화하고, 생산성을 향상시키며, 일관되고 안정적인 결과를 얻을 수 있도록 설계되었습니다. 전반적으로 TOYOKO KAGAKU MC-1 확산 로는 반도체 확산 프로세스에 탁월한 정밀도, 제어 및 신뢰성을 제공하는 최첨단 기계입니다. "고급 기능 '과" 액세서리' 는 변동 및 결함이 최소화된 고품질 고성능 장치를 구현하고자 하는 반도체 제조업체에 이상적인 선택이다.