판매용 중고 TOYOKO CHEMICAL UHTV-4200T #9296623
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ID: 9296623
웨이퍼 크기: 3"
Oxidation furnace, 3"
Type: Vertical
SiC with 1350°C
Does not include Nitrogen gas purifier.
TOYOKO CHEMICAL UHTV-4200T는 전자 장치의 고온 어닐링을 위해 특별히 설계된 확산 로입니다. 이 플로어 스탠딩 고온 진공 가능 로에는 정밀 컨트롤러가있는 별도의 어닐링 챔버 (annealing chamber) 가 있으며, 정확한 어닐링을 위해 다른 온도로 설정할 수 있습니다. 청소를 위해 깨끗한 비활성 가스 (inert gas) 를 사용하며, 디지털 디스플레이를 읽기 쉬운 대용량 전자 컨트롤러가 있습니다. UHTV-4200T는 고정밀 어닐링 응용 프로그램 (예: 초미세 재료 제조) 을 위해 설계되었습니다. 난방 속도 (heating rate) 는 특정 응용 프로그램에 맞게 사용자가 조정할 수 있으며, 온도 율의 정확도는 가장 가까운 0.1 ° C로 조정 할 수 있습니다. 이를 통해 다양한 온도에서 정확한 어닐링이 가능합니다. 확산 로에는 유해 방사선에 대한 단열재를 제공하고 어닐링 (annealing) 동안 최적의 안전을 보장하는 3 중 미러 방사선 보호 장비가 장착되어 있습니다. 챔버에는 공기 환기가있는 확장 가능한 세라믹 핫 뚜껑이 장착되어 있으며, 열 에너지 손실을 줄입니다. "석고 '의 절연 요소 는 약실 내부 부분 에서 더 균일 한 온도 를 허용 한다. TOYOKO CHEMICAL UHTV-4200T는 최대 온도 2000 ° C에 도달하도록 설계되었으며, 전체 가용 온도 범위에서 우수한 온도 조절 및 안정성을 제공합니다. 최적의 성능을 위해 UHTV-4200T에는 위성 냉각 시스템과 진공 밀봉 장치가 장착되어 있습니다. 냉각기 는 온도 의 안정성 의 변화 를 방지 하여, 보다 정밀 한 온도 의 변화 와 더 높은 "어닐링 '의 효율 을 가져온다. 진공 밀봉 도구 (vacuum sealing tool) 는 인과 유황을 제거하는데, 이 유황은 어닐링 후 챔버에서 축적됩니다. TOYOKO CHEMICAL UHTV-4200T는 또한 가스 누출을 방지하고 열에 대한 뛰어난 단열을 제공하여 성능이 향상 된 가스 타이트 도어를 특징으로합니다. UHTV-4200T에 사용되는 다이어프램 펌핑 에셋 (diaphragm pumping asset) 은 안정적인 작동과 장기적인 성능을 위해 설계되었습니다. 균일성 향상을 위해 높은 정밀 제어 및 빠른 작동을 제공합니다. 횡격막 펌핑 모델 (diaphragm pumping model) 은 또한 어닐링 중에 사용될 수 있으며, 어닐링 전후 추가 단계를 수행 할 필요가 없습니다. 이를 통해 운영자는 제거 주파수 및 가스 흐름 속도를 효과적으로 제어 할 수 있습니다. TOYOKO CHEMICAL UHTV-4200T는 인테리어 챔버를 청소하기 쉽고, 고급 디자인과 편리한 이동식 패널을 갖추고 있습니다. 이것 은 약실 을 최적 상태 로 유지 하는 데 도움 이 되며, 또한 "어닐링 '을 하기 전 과 후 에 자주 청소 하도록 격려 한다. 수많은 안전 및 보호 (Safety and Protection) 기능이 설계에 내장되어 있으며, 온도에서 가스 흐름을 중단 한 다음 세트 제한 (Set Limit) 을 제공하는 고압 차단 장비가 포함되어 있습니다. 이렇게 하면 구성 요소가 과열 및 손상되지 않도록 보호할 수 있습니다. UHTV-4200T 확산 로는 정확한 어닐링 어플리케이션을 위한 이상적인 솔루션으로, 정확한 온도 조절, 탁월한 안전 기능, 손쉬운 유지 관리, 최적화된 성능을 제공합니다.
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