판매용 중고 TKK / TOKAI KONETSU KOGYA TRL300.300 #9351623

TKK TRL 300.300 (TKK TRL 300.300) 은 반복적이고 안정적인 샘플 처리를 용이하게하기 위해 다양한 액세서리를 갖춘 고효율 확산 로입니다. 용광로는 반도체 소자의 제작에 필요한 광범위한 증기 증착 및 에칭 (etching) 프로세스에 적합합니다. KOGYA TRL300.300은 엄격한 Process Development Requirement를 충족하도록 설계된 수직 유형의 다중 영역 퍼니스입니다. 이 "히터 '는 균일 한 온도 분포 에서 최대 의 가열 을 제공 하는" 쿼츠 튜브 히터' 를 갖추고 있다. "쿼츠 '관 은 난방 지대 의 전체 길이 에 걸친 온도 를 정밀 하게 조정 할 수 있게 해 준다. 난방 구역은 3 개의 영역으로 더 나뉩니다. 각 영역은 다른 온도로 설정할 수 있으며, 특정 처리 주기에 대한 최적의 조건을 제공합니다. 이 퍼니스에는 통합 터보 펌프 (turbo pump) 어셈블리와 압력 제어 펌핑 장비가 있으며, 스트리밍을 제거하고, 열 스트레스를 최소화하며, 다양한 크기의 웨이퍼를 쉽게 수용 할 수 있습니다. "펌프 '장치 는 압력 의 변동 을 최소화 하고 처리 주기 전체 에 걸쳐서 일정한 온도 와 압력" 프로파일' 을 유지 하도록 설계 되었다. 고성능의 비활성 가스 전달 장치 (inert gas delivery unit) 가 용광로 위에 장착되어 일관된 프로세스 정확성과 반복 가능성을 보장합니다. "가스 '배달 기계 는 필요 한" 가스' 순도 와 유속 을 유지 하기 위해 작용 하며, 공정 구성 요소 들 에 적합 한 건조 시간 을 제공 한다. 비활성 가스 전달 도구 (inert gas delivery tool) 에는 가스 전달 속도를 조절하기 위해 질량 흐름 컨트롤러가 추가로 장착되어 있습니다. 질량 흐름 제어기 (Mass Flow Controller) 는 비활성 가스 이송 튜브의 흐름 속도를 제어하여 일관된 프로세스 온도를 유지하고 비활성 가스 오염을 제한합니다. 용광로 에는 또한 기질 의 산화 를 방지 하기 위한 질소 "블랑케팅 '" 가스' 를 가열 지대 에 공급 하는 "가스 '상자 모듈 이 갖추어져 있다. 질소 담요 "가스 '는 정해진 압력 으로 유지 되어, 안전 과 작동 신뢰성 을 보장 한다. TOKAI KONETSU KOGYA TRL 300.300은 고품질, 안정성, 효율성을 갖춘 용광로로, 가장 까다로운 생산 요구 사항을 충족하도록 설계되었습니다. 다양한 액세서리와 기능으로 인해 반복 가능하고 안정적인 확산 처리에 적합합니다.