판매용 중고 THERMCO / SVG 2600 #293660859

THERMOCOTHERMCO/SVG 2600은 통합 진공 장비와 작동하도록 설계된 확산 용광로 및 액세서리입니다. 반도체, 디스플레이, 광학 소재 등의 고급 소재 (advanced materials) 처리에 사용하도록 설계되었습니다. 컴퓨터의 디지털 컨트롤은 쉽게 작동할 수 있도록 직관적인 사용자 인터페이스를 위해 설계되었습니다. 퍼니스에는 2 개의 챔버가 있으며, 독립적으로 작동 할 수 있으며, 여러 온도 영역을 제공합니다. 용광로는 최대 1250 ° C의 온도에 도달 할 수 있습니다. 대형 챔버 (Large Chamber) 는 여러 기판을 수용할 수 있으며, 용광로를 다용도로 만들고 다양한 응용 프로그램의 요구 사항을 충족 할 수 있습니다. 약실 에는 "가스 '를 확산 과정 으로 인한 손상 으로부터 보호 하기 위해 작용 하는, 교체 할 수 있는 바닥" 라이너' 가 들어 있다. 용광로에는 자동 가스 전달 시스템이 포함되어 있으며 이중 암 조작 장치 (dual arm manipulator unit) 가 제공됩니다. 가스 전달 기계는 질량 흐름 컨트롤러에 연결된 진공 회선으로 구성됩니다. 이 로 말미암아 정밀 한 속도 로 순수 한 불활성 "가스 '를 도입 할 수 있게 되어, 온도, 흐름, 건조 시간 을 정확 히 제어 할 수 있게 된다. 이 도구는 사전 프로그래밍 가능하도록 설계되어 반복 가능한 프로세스를 지원합니다. 이중 암 조작기 (Dual Arm Manipulator) 자산은 웨이퍼 및 기판 배치의 정밀도를 높일 수 있습니다. 조작 장치 (manipulator) 는 정확한 기판 배치가 가능하며, 프로세스의 최적의 반복성을 위해 절대 반복성을 가능하게한다. SVG 2600 은 모든 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하고 모니터링할 수 있도록 자동화된 통합 제어 모델을 제공합니다. 이 장비 는 25 개 의 "프로그램 '을 저장 할 수 있으며, 여러 가지 조리법 을 용광로 로 에" 프로그램' 할 수 있게 해 주어 쉬운 과정 반복 이 가능 하다. 또한 데이터 로깅 시스템 (data logging system) 을 통해 실시간 프로세스 모니터링 및 그래프를 통해 쉽게 분석하고 문제를 해결할 수 있습니다. 용광로에는 조정 가능한 타이머, 온도보다 높은 보호, 가스 흐름 제어 등 완벽한 보호를 위해 몇 가지 안전 기능이 있습니다. THERMCO 2600 (THERMCO 2600) 은 다양한 어플리케이션의 요구를 충족하도록 설계된 다목적 확산 로입니다. 사용이 간편한 디지털 컨트롤, 다중 온도 영역, 듀얼 암 조작기, 통합 가스 전달 장치, 자동 제어 장치 등이 있습니다. 자동화된 제어 도구 (Automated Control Tool) 와 데이터 로깅 (Data Logging) 기능을 추가하면 정확한 제어 및 프로세스 모니터링이 가능합니다. 이 용광로는 고급 재료 처리를 위한 안정적이고 효율적인 선택입니다.