판매용 중고 THERMCO 5200 #9288067
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ID: 9288067
Furnace
Right hand configuration
Load station: Cantilever boat loader
TMX Cabinet:
TMX 1000 MUX
(4) Tube computers
With SBC board
Gas cabinet:
Wet oxide including H2 / O2 / N2 / T-LC
External torch assy
No ATCS for T-LC.
THERMCO 5200 (THERMCO 5200) 은 반도체 산업 및 연구에 사용하도록 설계된 확산 로와 관련 액세서리입니다. 용광로 는 내구성 이 강한 "스테인레스 '" 프레임' 로 구성 되어 있어서, 오래 지속적 인 수술 과 부식 및 기타 환경 요인 들 에 대한 내성 을 보장 해 준다. 5200 퍼니스는 납 프레임, PCB 또는 반도체 웨이퍼와 같은 기판에 반도체 재료 및 컴포넌트의 확산을 위해 설계되었습니다. 용광로는 기존의 직접 히터, 저항 히터, 쿼츠 램프, 가스 버너 등 다양한 가열 방법을 사용합니다. THERMCO 5200의 작동 온도 범위는 실온에서 최대 1100 ° C (1100 ° C) 이므로 광범위한 확산 응용 프로그램에 적합합니다. 가열 기능 이외에도, 5200 에는 다양한 제어 변수가 장착되어 있어, 정확한 작동 매개변수를 충족할 수 있습니다. 여기에는 디지털 온도 컨트롤러, PID, 프로그래밍 가능한 타이머 및 다양한 구성 가능한 옵션이 포함됩니다. 관련 Control Station 에는 터치 스크린 LCD 디스플레이가 장착되어 있어 직관적인 사용자 입력 및 제어가 가능합니다. 또한 THERMCO 5200에는 안전하고 효율적인 작동을 위해 추가 기능과 액세서리가 장착되어 있습니다. 여기에는 이중 안전 연동 장비, 가스 전달 시스템, 산소 공급 장치, 배기 추출 기계, 비활성 가스 재활용 도구 및 자동 시작/정지 기능이 포함됩니다. 5200 가지의 구성 가능한 확산 기술 (configurable diffusion technies) 은 산업 및 연구 어플리케이션 모두에 이상적인 선택입니다. 또한, 사용이 간편한 Control Station, 안전 기능 및 다양한 액세서리 옵션을 통해 정확하고 효율적인 고온 어플리케이션 (HT) 을 구현할 수 있습니다.
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