판매용 중고 THERMCO 5200 #9226173

ID: 9226173
웨이퍼 크기: 6"
Diffusion furnaces, 6" SiC Tube (7) Quartz tubes.
THERMCO 5200은 고품질 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 및 반도체 (semi-conductor) 생산을 전담하는 제조업체 및 연구 개발 센터에서 사용하도록 특별히 설계된 확산 용광로 및 관련 액세서리입니다. 그것 은 인상적 인 산소 없는 환경 을 자랑 한다. 즉, 가공 중 에 산소 오염 이 없으며, 구리 반응 이 매우 적다. 5200은 온도 범위가 300-850 ° C이고 프로그래밍 가능한 냉각 속도가 -10 ~ -60 ° C/min입니다. 확산 용광로는 온도 균일성 (± 5 ° C) 을 특징으로하여 전체 처리 주기 동안 일관된 결과를 보장합니다. 또한 강력한 대류 장비를 갖추고 있으며 통합 전류 모니터 및 송금 출력을 표시합니다. THERMCO 5200의 효율성은 용광로 챔버의 섬유 절연 및 절연 벽돌, 이중 강제 대류 원, PLC 제어 오븐 및 고급 PID 온도 제어 때문입니다. 또한, 화학 "펌프 ', 유량" 미터' 및 추출 "밸브 '를 포함 한 확산 로 의 고급 대피 장치 는 깨끗 하고 안전 한 환경 을 보장 해 준다. 백파이어 방지 (Anti-Backfire), 온도 보호 (over temperature protection) 및 신호 보호 입력 (Input Signal Protection) 과 같은 연동 보호 기능은 운영자가 잠재적 위험으로부터 안전하게 보호합니다. 5200은 길이가 1.2m, 폭이 30cm 인 샘플을 수용 할 수 있으므로 많은 응용 프로그램에 적합합니다. 유연한 와이어 랙 장치 (Wire Rack Unit) 와 편리한 쿼츠 튜브 액세스를 통해 사용자가 쉽게 샘플을 배치하고 제거할 수 있습니다. 제거 "웨이퍼 '는 항상" 샘플' 의 안전 을 보장 하기 위하여 잠금 장치 로 편리 하게 고정 된다. 전체적으로, THERMCO 5200은 향상된 결과를 위해 고급 기술을 갖춘 안정적이고 에너지 효율적인 확산 로입니다. 내장 안전 기능과 결합 된 우수한 온도 균일성 및 강력한 대피기는 5200 개를 고품질 마이크로 일렉트로닉스 (microelectronics) 및 반도체 생산을위한 안정적인 선택으로 만듭니다.
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