판매용 중고 THERMCO 5200 #9148881

THERMCO 5200은 웨이퍼 처리 기능을 향상시키기 위해 특별히 설계된 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 전체 온도, 압력, 흐름 제어 세트를 갖춘 5200은 정밀 웨이퍼 (precision wafer) 제작 및 기타 고급 마이크로 패브레이션 (microfabrication) 요구를 위한 다양한 기능을 제공합니다. THERMCO 5200은 가열과 냉각이 모두 가능한 올인원 시스템입니다. 이 기능은 강력하고 독립적으로 제어되는 두 개의 heating element 시스템 덕분에 가능합니다. 두 시스템은 2500 ° C의 인상적인 최고 온도에 도달 할 수 있으며, 다양한 프로세스가 가능합니다. 또한, 최대 6.9 바 (bar) 의 압력 기능과 유닛의 뛰어난 열 균일성을 통해 확산 광로 (diffusion fornace) 옵션을 장치에 통합 할 수 있습니다. 기계의 중심부에는 특허를받은 튜브 인 튜브 (tube-in-tube) 난방 요소가 있으며, 이 요소는 고성능 및 반복성과 동일하지 않은 온도 균일성을 결합합니다. 그것의 디자인은 또한 메인 챔버 (main chamber) 에서 주변로 (peripheral furnace) 까지 프로세스 간의 쉽고 지속적인 연결을 허용합니다. 또한 활성 (active) 요소 냉각을 통해 안전하고 반복 가능한 성능을 보장합니다. 이 장치에는 광범위한 플루오로 폴리머 마감 (fluoropolymer finish) 개선을 위해 특별히 설계된 내구성, 공랭식 확산 주택이 장착되어 있습니다. 이러 한 마무리 의 개선 은 "웨이퍼 '의 수명 과 성능 을 연장 시키는 데 도움 이 된다. 다중 영역 PID 제어, 뛰어난 열 및 균일성, 정확한 압력 및 흐름 제어, 뛰어난 온도 안정성 및 낮은 유지 관리 요구 사항을 통해 5200 개가 다양한 고급 마이크로 패브라이션 프로세스에 이상적인 선택이 됩니다. 이 장치는 현재 운영 시스템으로의 프로세스 통합 (process integration) 도 가능하며, 직관적인 설계 인터페이스를 통해 적절한 사용 및 구성을 쉽게 수행할 수 있습니다. 또한 THERMCO 5200은 신뢰할 수 있는 글로벌 서비스 네트워크 (Global Service Network) 의 지원을 받아, 자산을 원활하고 효율적으로 실행할 수 있는 기술자에게 안정적이고 적시에 액세스할 수 있습니다. 경쟁력 있는 가격과 탁월한 성능을 갖춘 5200은 모든 고급 마이크로패브라이션 (microfabrication) 요구 사항에 이상적인 선택입니다.