판매용 중고 THERMCO 5200 #9076495

THERMCO 5200 Diffusion Furnace는 반도체 기판의 열 처리를 제공하는 강력하고 신뢰할 수있는 솔루션입니다. 이 배치 형 퍼니스는 도핑, 질화, 산화, 열 산화 및 어닐링과 같은 열 처리를 위해 특별히 설계되었습니다. 용광로에는 드라이브 시스템, 온도 컨트롤러 및 가열 요소가 포함됩니다. 용광로의 최대 온도는 1200 ° C이며 압력 200 밀리바까지 작동 할 수 있습니다. 기판 면적에 균일 한 온도 프로파일 (temperature profile) 을 갖춘 인상적인 가열 및 냉각 속도를 제공합니다. 용광로 구조는 고급 (high-grade) 및 열 내성 (thermal resistant) 재료로 설계되었으며, 외부 케이싱은 고온 및 압력 노출 상태에서도 생존하도록 설계된 에폭시 코팅 된 강철로 만들어졌습니다. 챔버 도어 (chamber door) 및 기타 하드웨어의 아노디 화 된 알루미늄 밀봉과 함께 고온 내성 절연은 최대 열 유지 및 안전을 보장합니다. 가열 요소는 몰리브덴/텅스텐 합금 랩으로 흑연으로 만들어져 균일성과 강도를 보장합니다. 5200의 진공 시스템은 진공 진공 펌프 (rotary vacuum pump) 와 진공 펌프 (pre-vacuum pump) 가있는 확산 펌프로 구성됩니다. 회전 진공 펌프는 대기 압력에서 1mbar까지 챔버를 대피시킵니다. 진공 전 펌프는 챔버를 대기압에서 20mbar로 대피시킵니다. 확산 펌프는 챔버를 20 mbar에서 10-8 mbar로 대피시키는 반면, 게터 펌프는 챔버를 닫을 때에도 진공을 유지합니다. 고급 용광로 제어 시스템 (Advanced Furnace Control System) 은 정확한 온도 조절을 보장하며 다양한 배치 프로세스에 대한 LCD 디스플레이 및 프로그래밍 가능한 컨트롤로 설계되었습니다. THERMCO 5200 (THERMCO 5200) 은 사용자의 처리 요구에 따라 사용자 지정 작업용 액세서리를 제공합니다. 여기에는 쿼츠와퍼, 수동 및 자동 로드 플랫폼, 비활성 가스 흐름 제어 시스템, 온도 센서 및 다양한 보호 옵션이 포함됩니다. 또한 터치 패널 컨트롤러 (Touch Panel Controller) 가 제공되어 처리 주기 동안 핸즈프리 챔버 제어 및 모니터링이 가능합니다. 요약하자면, 5200 확산 퍼니스 (Diffusion Furnace) 는 기판의 열 처리를 위한 강력하고 안정적인 솔루션입니다. 이 설계는 온도 분포가 균일하고 온도 조절이 정확하며, 챔버 도어 (chamber door) 및 기타 하드웨어는 최대 열 보존을 보장합니다. 광범위한 열 처리 작업 (thermal processing operation) 에 적합하며, 구성이 사용자의 특정 요구에 맞게 조정될 수 있습니다.