판매용 중고 THERMCO 5100 #9134801
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판매
ID: 9134801
웨이퍼 크기: 6"
Horizontal furnace, 6"
Process temperature: 1150–1200 Celsius
(4) Tubes
Voltage: 415V 3Ph 50 Hz
EMO: No
Config (see system layout): H
Model: 5200
Heating element:
Model: MRL-3S, HC-61
P/N No:
0440817770 R03 (Tube 1)
0440817770 R02 (Tube 2-3)
0440817770 R01 (Tube 4)
Tube size : 225 / 235 mm
Water cooled heat exchanger / Position: Yes / Top mounted
Thermocouples: B Type
(3) Controlled zones
Over temp monitoring: Over temp board
Load station (L/S)
Model: 5200
Boat loader type: D2
HLF Air supply: Low blow
Blower power: 220V 50Hz
Hepa filter type: ULPA class 1.2 µ
Hepa filter access: Rear
Scavenger boxes: 12" Square
Head assembly: Cryco
Cantilever type: Paddle (2" Square handled)
Exhaust position / Connection: Upward / 7" x 7" Sq
Source cabinet (S/C)
Model: 5100
Gas manifolds: Upward
Exhaust position / connection: Upward / 4" x 7"
External torch: Low flow / Air cooled
Source heater: MRL P/N: 4000799600
Bubbler: Schumacher STC DCE
Process gas: Regulated and filtered
CDA: Regulated
Regulator: Aptech
Gauge: Celerity
Filter: Mykrolis
Gas inlet location: Top (Bulkheads exhausted)
Valve: All nupro diaphragm
Computer console (C/C)
Controller: Tmx 1.8.60
SBC Compliant: Yes
Miscellaneous
Straight Cables: Yes (ALL)
Elevator: No
Gas MFC Range
N2 20 SLPM
O2 20 SLPM
H2 20 SLPM
O2Lo 2000 SCCM
N2C 500 SCCM (Tube 1)
- 1000 SCCM (Tube 2)
- 1000 SCCM (Tube 3)
- 1000 SCCM (Tube 4)
O2 500 SCCM.
THERMCO 5100은 고순도 웨이퍼 처리 어플리케이션을 위해 특별히 설계된 확산 로와 관련 액세서리입니다. 뛰어난 열 균일성 (thermal unifority) 및 성능을 제공하도록 설계되어 섬세한 웨이퍼 처리에 이상적인 환경을 만듭니다. 5100 시리즈는 효율적이고 컴팩트한 디자인의 대용량 부하 용량을 갖추고 있습니다. 또한 THERMCO 5100 시리즈는 자동 웨이퍼 엘리베이터 (wafer elevator) 를 갖추고 있어 수동 지원 없이 용광로에서 용지함을 쉽게 로드하고 언로드할 수 있습니다. 5100 시리즈의 확산 기능은 저온 산화 및 질화물, 웨이퍼 레벨 포장에 대한 확산 프로세스, 에피 택시 레이어 증착 (epitaxial layer deposition) 등 다양한 응용 분야에서 뛰어난 필름 특성을 허용합니다. 용광로의 효율적이고 컴팩트한 설계는 작동에 대한 부담을 덜어 주며, 재조정 주기 (Reconditioning Cycle) 를 줄이고 처리 시간을 단축합니다. 섭씨 +/-2 도의 타이트한 열 균일성 (tight thermal uniformity) 은 낮은 전력 소비로 인해 성능 향상과 함께 에너지와 자원을 절약하여 폐기물을 줄입니다. 열 균일성 (thermal unifority) 은 시스템의 독특한 수직 벽 핫 존 (Hot Zone) 설계를 통해 보장되며, 전체 챔버 내에서 열을 균등하게 분배하고 웨이퍼 전체에 최적의 온도를 유지하는 데 도움이됩니다. THERMCO 5100 시리즈에는 고급 가변 전원 용량도 포함되어 있어 프로세스 요구 사항에 따라 전압 및 와트 (120V ~ 240V, 100W ~ 2000W) 를 전환할 수 있습니다. 이 가변 전력 용량은 정밀도 및 열 안정성을 유지하면서 에너지 효율을 높입니다. 5100 시리즈는 미세 조정 된 전기 기계 연동 시스템 (Electro-Mechanical Interlock System) 을 갖춘 안전성을 위해 설계되었으며, 이는 운영 중 원치 않는 물체가 용광로에 들어가는 것을 방지합니다. 이 시스템은 또한 절연 열 스위치 (insulated thermal switch) 를 갖추고 있으며, 작동 중 안전한 온도를 유지하고 과도한 열이 외부로 방사되는 것을 방지합니다. 마지막으로, THERMCO 5100 시리즈는 사이클 프로그래밍 인터페이스 (Cycle Programming Interface) 를 통해 반복적인 처리, 손쉬운 검색 및 향후 애플리케이션을 위한 사용자 정의 사이클 레시피 (Cycle Recipe) 를 저장할 수 있도록 설계되었습니다. 5100 시리즈는 잘 설계되고, 안정적이며, 효율적인 확산 로와 관련 액세서리로, 많은 웨이퍼 처리 어플리케이션에 적합합니다. 열적 균일성 (thermal unifority) 과 성능 (performance) 이 우수하여 다른 방법과 관련된 비용 및 시간의 일부분에서 정확한 웨이퍼 처리를 보장합니다. THERMCO 5100 시리즈는 모든 웨이퍼 프로세싱 요구 사항에서 품질과 안정성을 보장합니다.
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