판매용 중고 THERMCO 4500 #59757

THERMCO 4500은 반도체 및 박막 처리 응용프로그램을 위해 안정적이고, 낮은 진공, 고온 환경을 제공하며, 안전성과 장기적인 안정성을 제공하도록 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 이 고급 확산 광로 (Advanced Diffusion Furnace) 를 통해 복잡한 다중 프로세스 단계 모듈을 하나의 시스템으로 구성하고 실행할 수 있습니다. 4500은 최대 1200 ° C 균일 한 온도 프로파일을 제공하는 통합 석영 요소가있는 특허를받은 스테인리스 스틸 열 챔버 (stainless steel thermal chamber) 를 갖추고 있습니다. 이 시스템은 기존의 유리관 용광로에 비해 더 높은 수준의 재현성과 낮은 온도 비 균일성을 제공합니다. 또한 온도 범위 (1200 ° C +/-20 ° C) 에 걸쳐 뛰어난 온도 균일성을 제공합니다. 또한, THERMCO 4500의 듀얼 존 (Dual-Zone) 튜브 주택 설계는 열 구역과 냉각 구역에 동시에 직접 접근 할 수 있습니다. 4500은 쿼츠 도가니 (quartz crucible), 쿼츠 보트 (quartz boat) 및 서모 실드 (thermo-shield) 를 포함한 다양한 옵션 구성 요소로 박막 및 반도체 웨이퍼를 처리하도록 설계되었습니다. 고급 컨트롤러는 PID 규정 프로세스 피드백 (feedback) 및 수동 또는 자동 온도 모드로 정밀 프로세스 제어를 제공합니다. 완전 절연 챔버 (fully insulated chamber) 는 높은 효율성과 낮은 열 기울기를 보장하여 프로세스를 반복하고 안정적으로 만듭니다. 또한 THERMCO 4500에는 압력 침입 탐지 스위치, 온도 침입 탐지 스위치, 통합 화염 탐지 시스템 등의 고급 안전 기능도 포함되어 있습니다. 4500에 사용되는 표준 전원 공급 장치는 220/480V, 3상 50/60Hz이고 최대 전원 입력은 36KW입니다. 용광로의 내부 크기는 400mm * 400mm * 500mm (L * W * H) 이며 권장 가스 압력은 5 Torr입니다. 고급 컨트롤러에는 설치 및 운영 제어를 위한 8.4 인치 LCD 디스플레이와 Windows 7 기반 소프트웨어가 함께 제공됩니다. 또한 온도 조절, 프로그래밍, 데이터 로깅 및 오류 감지 기능을 지원합니다. 유지 보수 측면에서 THERMCO 4500에 권장되는 유지 보수 기간은 12 개월 또는 2000 시간입니다. 태양전지 제조, 고급 반도체 칩 (Advanced Semiconductor Chip), 박막 코팅 (Thin Film Coating) 등 다양한 특수 재료 처리 응용 분야에서 정밀 온도, 압력 제어 및 신뢰할 수있는 확산 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. "고급 안전성 '과" 고온' 용량으로 반도체· 박막 업계에서 가장 안정적이고 다용도 있는 확산 시스템 중 하나다.