판매용 중고 THERMCO 4300 #9230011
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ID: 9230011
Diffusion furnace
Series: CW-601 R
With (4) tubes
(4) Heating zones
Control panel
Exhaust system
Flow meters for N2 and O2 gases
Laminar flow
Temperature range: 400°C-1400°C
Power consumption: 92 kW / 440 V / 60 Hz
Power supply: 110 V / 29 A.
THERMCO 4300 (THERMCO 4300) 은 반도체 산업의 구성 요소를 처리하기 위해 설계된 확산 로와 액세서리입니다. 이 장치는 온도를 정확하게 제어하고 안정적이고 반복 가능한 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 챔버는 정확한 온도 안정성을 보장하는 두꺼운 벽, 고도로 구조화 된 세라믹으로 구성됩니다. 챔버의 열판은 전도성이 높은 알루미늄으로 제작되었으며, 낮은 열 질량 및 얇은 사이드 월 (sidewall) 을 특징으로합니다. 또한, 챔버 외부에 있으며 정확한 프로세스 제어를 제공하는 마이크로 프로세서 제어 온도 컨트롤러 (microprocessor-controlled temperature controller) 가 장착되어 있습니다. 이 기능을 사용하면 목표 온도를 정확하게 설정하고 프로세스 온도를 정확하게 모니터링할 수 있습니다. 4300은 확산, 포토리스 스트 코팅 (photoresist coating), 열성 결합 (thermosonic bonding) 등 다양한 응용 분야에 사용될 수있는 아트로의 상태입니다. 이 장치는 사용자가 최대의 주기 시간 (cycle time) 과 생산량을 달성할 수 있도록 설계되었습니다. 고급 전력 제어 전자 장치 (Advanced Power Control Electronics) 는 탁월한 에너지 효율성과 온도 균일성을 제공하면서 부드럽고 일관된 프로세스 전력 공급을 보장합니다. 또한, 다양한 조정 가능한 프로세스 매개 변수를 통해 사용자는 확산 프로세스 (diffusion process) 를 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다. 이 장치 의 거대 한 열 용량 은 상당 한 양 의 열 을 효율적 으로 소모 시키며, 이 열 처리 "응용프로그램 '에 이상적 이다. 또한, 견고한 이중 벽 구조는 긴 처리 주기 동안에도 온도가 안정적으로 유지되도록 보장합니다. 또한 THERMCO 4300은 온도보다 통합된 보호 기능을 제공하여 사용자에게 안전과 보안 계층을 추가로 제공합니다. 최첨단 기술 외에도 4300은 사용하기 쉽고 유지 관리가 용이합니다. 터치 패널 사용자 인터페이스는 사용자 친화적이며 고급 진단 패키지 (Advanced Diagnostics Package) 를 통해 잠재적 문제를 신속하게 해결하고 진단할 수 있습니다. 이 장치는 또한 견고한 포장을 갖추고 있으며, 전송 중에 구성 요소와 액세서리를 보호하고 저장할 수 있도록 설계되었습니다. 전반적으로 THERMCO 4300은 반도체 산업의 확산 프로세스에 적합합니다. 온도를 정확하게, 안정적으로 제어할 수 있도록 설계되었으며, 사용자가 최대의 주기 시간 (cycle time) 과 생산량을 달성할 수 있도록 합니다. 첨단 전자제품, 내구성 있는 설계, 종합적인 제어 기능을 통해 업계 최고의 선택으로 자리잡았습니다 (영문).
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