판매용 중고 THERMCO 4100 #9046507

THERMCO 4100 (THERMCO 4100) 은 반도체 업계의 애플리케이션 어닐링을 위해 설계된 확산 용광로 및 액세서리 장비입니다. 특허받은 확산 분위기와 정밀한 열제어 (thermal control) 를 활용해 우수한 결과를 내는 효율적이고 신뢰할 수 있는 어닐링 시스템이다. 4100 (4100) 은 직경 150mm 크기까지 도핑 (doped) 및 도핑되지 않은 웨이퍼를 처리 할 수있는 대기 제어 어닐링 장치입니다. 이 기계는 400 ° C ~ 900 ° C의 다양한 온도 범위에서 효율적인 실리콘 웨이퍼 처리에 이상적입니다. 빠른 열 어닐링, 이온 임플란테이션 어닐링, 담요 확산 어닐링, 임핑 플라즈마 어닐링, 고 진공 어닐링 등 전체 범위 프로세스 창이 특징입니다. THERMCO 4100 (THERMCO 4100) 은 챔버 환경을 지속적으로 모니터링하여 대기를 정확하게 제어 할 수있는 자동 대기 제어 도구를 갖추고 있습니다. 이 대기 제어는 어닐링 챔버 내에서 적절한 구성, 순도 및 압력을 보장합니다. 이 빠르고 정확하지만 온도 조절은 제어 및 반복 가능한 어닐링 결과에 필수적입니다. 4100에는 또한 '로드 잠금 (Load-Lock)' 챔버가 있습니다. '로드 잠금 (Load-Lock)' 챔버는 어닐링 챔버를 통풍하거나 열 필요없이 웨이퍼를 효율적으로 로드 및 언로드합니다. 이 과정은 오염 물질이 챔버에 들어가는 것을 방지하므로, 프로세스 결과의 무결성을 보장합니다. THERMCO 4100에는 매우 정확하고 안정적인 온도 및 압력 제어 자산도 포함되어 있습니다. 여기에는 단단한 온도 조절을위한 PID 온도 컨트롤러와 정확한 종점 가압을위한 압력 조절기 (pressure regulator) 가 포함됩니다. 또한 내장형 쿼츠 모니터를 통해 실시간 웨이퍼 온도 (wafer temperature) 를 측정하고 최적의 열 성능을 보장합니다. 전체적으로, 4100은 정확한 열 제어 및 효율적인 웨이퍼 프로세싱으로 인해 반도체 산업에 이상적인 어닐링 모델입니다. 모듈식 설계를 통해 다른 호환 프로세스 도구와 쉽게 통합할 수 있습니다. 사용자 친화적 인 프로그래밍 컨트롤러로 인해 탁월한 온도 조절, 프로세스 균일성 및 반복 성을 제공합니다. 자동 대기 제어 및 Load-Lock 장비는 깨끗하고 일관된 처리 환경을 보장합니다. THERMCO 4100은 정확하고 반복 가능한 어닐링 결과를 달성하기위한 이상적인 솔루션입니다.