판매용 중고 THERMCO 10000 #9311638

ID: 9311638
웨이퍼 크기: 4"-6"
Diffusion furnace, 4"-6" Process: LPCVD Si3N4, LTO and oxide (4) Tubes Loaders included 2nd PLY Tube and LTO tube non-functional.
THERMCO 10000 (THERMCO 10000) 은 보호층과 합금 생산, 반도체 도핑, 또는 모든 재료의 필름 또는 레이어 생성 등 산업용 제조 공정에 일반적으로 사용되는 확산 용광로 및 액세서리 키트입니다. 장비는 튜브로, 통합 컨트롤러, 공정 가스 박스, 가스 매니 폴드로 구성되며, 여러 샘플 제어를 허용합니다. 튜브 퍼니스는 다공성 알루미나 벽 (alumina wall) 으로 구성되어 있으며, 열 전달에 사용되는 다공성 알루미나 벽 (alumina wall) 과 몰리브덴 (molybdenum) disilicide 가열 요소를 사용하여 온도를 정확하게 제어하는 내부 퍼니스로 사용됩니다. 용광로 길이는 8 인치이며, 수정 석영 유리 보기 창으로 프로세스를 모니터링합니다. 석영의 온도는 최대 3000 ° C입니다. 도어 장착 전사 암을 사용할 수 있으며, 샘플 로딩 및 언로드가 가능합니다. 시스템의 컨트롤러에는 조정 모니터가 내장 된 5 단계 프로그래밍 터치 스크린, 온도 및 가스 흐름을 측정하는 2 개의 정밀 전자 미터, 내장 통신 포트가 있습니다. @ info: whatsthis 통합 프로세스 가스 박스 (integrated process gas box) 는 분포 매니 폴드를 통해 두 개의 조절기와 질소 (Nitrogen) 또는 암모니아 (Ammonia) 공급을 사용하며 여러 샘플 또는 프로세스 단계로 프로그래밍 될 수 있습니다. 프로세스를 시작하기 전에 올바른 가스와 일치하는 부품 번호 (Part Number) 를 컨트롤러에 입력해야 합니다. 공급 된 트랜스퍼 암 (transfer arm) 은 튜브 안팎으로 샘플을 조심스럽게 처리하기 위해 쿼츠 또는 금속 실린더를 수동으로 처리하도록 설계되었습니다. 기계에 대한 모든 연결 (connection) 은 빠르게 끊어지며 추가 공간이 필요없도록 용광로 (furnace) 내부에 배치될 수 있습니다. 액세서리를 포함한 전체 10000 도구는 높은 온도, 정확도, 빠른 응답 시간이 필요한 어플리케이션에 사용할 수 있습니다. 이 확산 퍼니스 (diffusion furnace) 및 액세서리 키트 (accessory kit) 는 전문적인 기술 지원 없이 여러 주기와 프로세스 단계를 안정적으로 수행할 수 있도록 설계되었습니다.
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